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無塵車間之定義無塵車間(Clean?Room),亦稱為無塵室或潔凈室。是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。無塵車間主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造,此空間我們稱之為「潔凈室」。
以無生命微粒的控制為對象。主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染,內部一般保持正壓狀態。它適用于精密機械工業、電子工業(半導體、集成電路等)宇航工業、高純度化學工業、原子能工業、光磁產品工業(光盤、膠片、磁帶生產)LCD(液晶玻璃)、電腦硬盤、電腦磁頭生產等多行業。
隨著科技的與日發展,生產制造業其對空氣潔凈度的要求主要是從產品加工的精密化、產品的微型化、產品的高純度、產品的性四個方面提出來的。產品加工的日漸精密化?,F代產品的加工精度已經進入到了亞微米量級,而且正在向著更小的量級發展。產品的日漸微型化。原來體積為幾千立方厘米的電子裝配件,現在縮減到了零點幾立方厘米。產品的日漸高純度。今天的各種超純材料,都在高純度基礎上才能使原材料充分發揮其固有特性,或者呈現出新的特性。
濕度過高產生的問題更多,相對濕度超過55%時,冷卻(cooling)水管壁上會結露,如果發生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。食品,保健品,飲料等車間對對生產潔凈度要求是比較高的,通常為10萬級至萬級以上,但同時車間的濕度越低越容易滋生細菌(fungus),細菌和其他生物污染(霉菌,,真菌,螨蟲)在相對濕度超過60%的環境中可以活躍地繁殖。一些菌群在相對濕度超過30%時就可以增長。在相對濕度處于40%至60%的范圍之間時,可以使細菌的影響以及呼吸道降至。