山西化工潔凈室檢測議20年裝修經驗公司
潔凈室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內而所給予特別設計之房間.
后進入潔凈室生產區域,從而基本達到無塵室的溫濕度、潔凈度及正壓度的要求。由于整個潔凈室內擺滿了各種生產機器,這些機器都保持持續的運轉,會產生大量的熱量,這些熱量又將通過回風通道內的干盤管DCC進行冷卻而被帶走, 從而達到維持長時間穩定的溫濕度環境。對于潔凈室的溫濕度控制,主要的兩塊是新風空調箱和干盤管。新風空調箱除了要外界大氣經過其中的初、中和過濾網,把空氣中的粉塵顆粒過濾掉外,還要根據潔凈室里面的溫濕度情況調整出風口的溫濕度,以送入的新風在規定的溫濕度范圍內。而干盤管是根據潔凈室里面安裝的溫濕度傳感器測量的值來調整干盤管冷水閥的開度,進而調節回風和送風混合后的溫濕度,以滿足半導體工藝的溫濕度需求。
出口新風濕度進行調節,將潔凈室相對濕度測量值與相對濕度設定值進行比較,由此計算出所需要MAU出口新風相對濕度,其計算過程與溫度設定值的計算過程類似,然后配合MAU 出口新風溫度設定值,計算出MAU 的出口露點溫度設定值, 由此來控制MAU 出口的濕度。實際應用中,通過在潔凈室溫濕度控制系統中引入模糊控制環節和分程控制環節,發揮模糊控制魯棒性強、動態響應好、上升時間快、超調小的特點,
無塵布潔凈車間廠家認為潔凈室或潔凈設施的溫濕度測量通常分為一般測試和綜合測試兩個等級。一般適用于空載狀態下的驗收試驗,綜合適用于靜態或動態綜合性能試驗。這種測試適用于對溫度和濕度有嚴格要求的場合。無塵布潔凈車間廠家認為該測試在氣流均勻性測試和空調系統調整后進行。在該測試時,空調系統處于運行狀態,條件都很穩定。每個濕度控制區域配備至少一個濕度傳感器,并給傳感器的穩定時間。測量應適合實際使用目的,待傳感器穩定后再開始測量,測量時間不得少于5分鐘。