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無塵車間，是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。無塵車間擁有不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能的特性。
測量高度距離地面約1.2米，潔凈室面積在15平方以下者，可只測室中心1點。面積在15平方米以上，還應再測對角4點，距側墻各1米，測點朝向各角。測點平面離地面0.8米左右，按2米間距布點，30平方米以內的房間測點距邊墻0.5米，超過30平方米的房間測點距離墻面1米。無塵車間的潔凈工作臺的構造要求:臺面，采用木質塑料貼面貼于層壓板上做成臺面，或采用不銹鋼做臺面；箱體，用熱扎薄鋼板與骨架氣焊易變形，可采用冷軋薄板折邊搭接，大電流電焊，內表面需粘貼消聲材料，（zui）大尺寸應以通過一般房門為宜；箱體密封，縫隙均采用密封膠密封；操作區截面應盡可能與空氣過濾器送風截面相同，盡量減少盲區；風機、電機，選用高壓低噪的小型風機，風機與箱體的連接采用軟連接，電機及風機均應采取減振措施；燈罩，日光燈要盡量設置在燈罩內，燈罩內要通過潔凈氣流；預過濾器，須設置預過濾器，容量要大，在使用風量下，初阻力宜小于50Pa；過濾器，盡量采用大面積的過濾器，減少空氣過濾器的數量，過濾器與框架之間的密封應采用封導結合的雙環密封系統。
凈化等級一般分為100級、1000級、10000級、100000級，現在2010年版的GMP凈化車間已經不用這個叫法了，分為ABCD級別，分別相對應于98版的幾個級別，通過檢測區域內的塵埃粒子數、浮游菌數、沉降均數評價凈化級別，各個級別有不同的要求，凈化等級分靜態、動態兩種。世界各國均有自定規格，但普遍還是用美國聯邦標準209為多，以下僅就209D及209E和世界上其它各國制定標準作介紹與相互比較。
依據美國聯邦政府頒布的標準【Federal Atandard(FS)209E，1992】，可將無塵室(又名潔凈室,無塵車間)分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級，如果無塵室的等級只用塵粒數目來敘述，則可假設塵粒的尺寸不是0.5um，無塵室等級應以在一特定塵粒尺寸的級數來表示。例如:10級在0.2um(塵粒尺寸在0.2um或更大下，密度不大于75顆/立方英尺)，1級在0.1um(塵粒尺寸在0.1um或更大下，密度不大于35顆/立方英尺)。而集成電路制造所需的無塵室之潔凈度優于1000級。