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潔凈室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內而所給予特別設計之房間.
潔凈室溫濕度處理基本流程及常見問題潔凈室溫濕度處理基本流程前攝像頭:5.0MP 后攝像頭:13.0MP AF半導體潔凈室廠房通常采用新風空調箱(Meup Air Unit，MAU)+風機過濾單元(FanFilter Unit，FFU)+干冷盤管(Dry Cooling Coil，DCC)的設計，即新風空調箱MAU將具有一定潔凈等級和溫濕度的新風送到潔凈室的回風通道中，與循環回風進行混合后進入潔凈室吊頂上方，通過風機過濾單元FFU
因此，在確定恒溫室參數(parameter)和選擇自動控制時，考慮工件恒溫恒濕車間、圍護結構、空氣處理設備和自控系統之間的動態特性。防塵車間是指控制產品 (如硅芯片等) 所接觸大氣的潔凈度及溫濕度，使產品能在一個良好的環境空間中生產、制造。此環境空間的設計施工過程即可稱為凈化工程。在電子行業制造車間是重要產生靜電的地方，通常靜電會對產品造成短路甚至會造成員工導電暈倒事故，所以電子行業的無塵車間相對濕度不應低于30%，這樣即可以減少靜電的產生，通常建議無塵車間的防靜電區域相對濕度不低于50%。無塵室優點:構造簡單、系統建造成本低，潔凈室的擴充比較容易，在某些用途場所，可并用無塵工作臺，提高潔凈室等級。過于干燥的空氣中易粉塵飛揚，電子廠無塵車間無要求的情況下，溫度控制在22℃左右，相對濕度控制在55～60%RH之間，在這種環境下，人們感覺舒適，靜電也消失了。
在更室內，按照進入進的方法，反向操作，穿上室內鞋走出更室。穿好無塵服后才能進入手間，嚴禁手不進入凈化車間。出入凈化車間時，開關門時應輕推輕關，且門不能對開。以上每違反一條，每次從工資中扣10元，違反人員的直屬上司扣管理費用2元。無塵服的存放與管理無塵服按要求定期清洗，每班清洗1次(使用時)。無塵服臟、破、清洗不干凈時均要申請更換，更換時均要以舊換新。存放無塵服的區域保持干凈，除無塵服外不能存放物品。