梅州化工萬級無塵室專業規劃設計
10萬級無塵車間凈化工程由滿布潔凈室吊頂的過濾器向室內送風。氣流有如一個空氣活塞,向下流經室內,帶走污染物,然后從地面排出。又在與外部的一些新鮮空氣混合后,再循環至過濾器。人員和工藝所產生的懸浮污染可立即被這種空氣清除掉,而紊流通風系統采用的是混合與稀釋原理。在一間沒有障礙物的空房間,單向流用比前面提到的低得多的風速,就可以很快將污染物清除。但在一個操作間,機器以及機器周圍走動的人員,會對氣流形成障礙。
目前半導體潔凈室對溫濕度的控制范圍通常為:溫度22±2℃,濕度45±5%RH。本文通過對現有潔凈室溫濕度控制系統的研究,引入模糊控制,以提高溫濕度控制的實際效果。溫濕度控制系統實現基本上, 現在潔凈室溫濕度要求為22±2℃,45±5%RH,當然根據生產工藝的需求,對溫濕度的要求也不盡相同。新風空調箱的溫濕度控制新風空調箱基本結構新風空調箱基本結構如圖3 所示,其處理流程如下:空氣過濾———包括初效、中效、三部分;溫度處理———包括預熱盤管、一次表冷盤管、再熱盤管三部分;
十萬級無塵車間對溫度、濕度沒有特殊要求時,冬季溫度一般控制在冬季20—22℃;夏季溫度一般控制在24—26℃;允許波動的范圍是±2℃。而冬季潔凈室濕度控制在30—50%,夏季無塵車間濕度控制在50—70%。
在進入或離開潔凈廠房之前戴好防靜電手套或手指套,手指套要戴十只手指,更換時把廢舊手指套扔入指定的收納盒或垃圾桶內,不需要順手亂扔,影響車間整潔衛生.
更精密、集成度更高是行業發展的趨勢。目前,制造工藝已經進入亞納米時代,對生產設備的精度要求越來越嚴格,因此,除了設備本身的工藝水平需要達到生產要求以外,其所處的生產環境——潔凈室的各項也被嚴格地控制,包括:潔凈度、溫濕度、照度、氣流方向、振動靜電、磁場以及有害氣體等。其中的溫濕度控制是重點,其控制的效果直接影響著生產的優良率。