上饒線路板10萬級凈化車間專業車間施工團隊
開度增大以抵消新風帶來的熱負荷;如果進入潔凈室的新風的溫度過低,將使得在DCC開度為零時達到環境溫度的要求。根據統計數據,空調系統的能耗占整個半導體廠的能耗的30%-35%,因此對空調設備進行優化控制,選擇合理溫濕度設定值,對提高整個潔凈室溫濕度控制的穩定性及具有重要的意義。隨著半導體生產工藝的不斷發展,更精密、集成度更高是行業發展的趨勢。目前,制造工藝已經進入亞納米時代,對生產設備的精度要求越來越嚴格,因此,除了設備本身的工藝水平需要達到生產要求以外,其所處的生產環境——潔凈室的各項也被嚴格地控制,包括:潔凈度、溫濕度、照度、氣流方向、振動靜電、磁場以及有害氣體等。其中的溫濕度控制是重點,其控制的效果直接影響著生產的優良率。
亂流潔凈室的原理和特性定義:亂流潔凈室的定義是氣流以不均勻的速度是不平行流動,伴有回流或渦流的潔凈室。原理:亂流潔凈室靠送風氣流不斷稀釋室內空氣,把室內污染逐漸排出,來實殃潔凈的(亂流潔凈室一般設計在千級以上至30萬級凈化級別)。特性:亂流潔凈室是靠多次換氣來實現潔凈級別。換氣次數決定定義無反顧的凈化級別(換氣次數越多,凈化級別越高)潔凈室的新風要求按《潔凈廠房設計規范》規定,亂流潔凈室新風量應不小于總風量的10%-30%;單向流潔凈室,新風量應不小于總風量的2%-4%,當然也可以根據潔凈室的具體功能而定。
潔凈室的污染源可分為外污染源及內污染源:外污染源主要包括空調送風、 間隙滲入、建筑物、工作服、風管材料以及一般性氣體等;內污染源則包括制程 設備、工作人員、工具、隔間材料、工作桌、加工材料等,其對生產環境的污染凈化工程:控制室內空氣懸浮粒子的濃度,對室內溫度、濕度、壓力等按技術要求進行控制;潔凈廠房墻壁和頂棚的表面應按要求達到平整、光滑、不 起塵,避免眩光,便于除塵,并減少凹凸面;潔凈室地面平整、耐磨、易清洗, 不易積聚靜電,避免眩光,不開裂;施工要求對結構、風管制作環境潔凈度要求 高;人流、物流的控制嚴格。
亂流潔凈室也叫非單向流潔凈室,非單向流潔凈室的原理是靠潔凈送風氣流擴散、混合、不斷稀釋室內空氣,把室內污染逐漸排出,達到平衡。簡言之,非單向流潔凈室的原理就是稀釋作用。 特點:亂流潔凈室是靠多次換氣來實現潔凈與潔凈級別。換氣次數決定定義中的凈化級別(換氣次數越多,凈化級別越高)。