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濕度過高產生的問題更多，相對濕度超過55%時，冷卻(cooling)水管壁上會結露，如果發生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。食品，保健品，飲料等車間對對生產潔凈度要求是比較高的，通常為10萬級至萬級以上，但同時車間的濕度越低越容易滋生細菌（fungus)，細菌和其他生物污染(霉菌，，真菌，螨蟲)在相對濕度超過60%的環境中可以活躍地繁殖。一些菌群在相對濕度超過30%時就可以增長。在相對濕度處于40%至60%的范圍之間時，可以使細菌的影響以及呼吸道降至。
由于每種工藝制程設備的發熱量大不相同，導致潔凈室內的機臺發熱量分布不均勻。例如爐管機臺的發熱量相較于其他設備大得多(基本在3-5倍之間)，因此在潔凈室內用干盤管DCC帶走這些熱量。通常要求同一制程的氣流經過同一組DCC，在建筑已經確定的情況下，制程的分布要與回風道垂直。如果條件允許，好是將不同制程的區域隔開，這樣既可避免金屬粒子污染，又能提高溫濕度控制的穩定性。通常情況下， 潔凈室的溫濕度控制在22±2℃，45±5%RH，MAU 的送風溫度基本控制在21℃-21.5℃，在與循環風混合后，FFU
潔凈車間(潔凈室)是一個企業的核心，是空氣達到一定級別的可供人活動或生產工作的空間，其功能室控制微粒子和微生物的污染。潔凈室的潔凈不是一般的干凈，而是達到了一定空氣潔凈度級別。潔凈車間(潔凈室)按照用途分類分為工業潔凈室和生物潔凈室，按氣流形式分類分為單項流潔凈室、非單項流潔凈室、混合流潔凈室、輻（矢）流潔凈室等。
醫療無塵車間內潔凈室中的三塵。無塵潔凈室有三大原則:禁塵、帶塵、產塵。風淋室作為進入潔凈室的緩沖通道之 一，是控制帶塵的Z好凈化設備之一，它可以Z大限度地減少員工進出無塵潔凈室所帶來的污染問題。風淋室的兩道門電子互鎖，可以兼起氣閘室的作用，阻止外界污染和未被凈化的空氣進入無塵潔凈區域，達到生產車間所要求的生產潔凈環境。醫療無塵車間內潔凈室Z主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造，此空間我們稱之為醫療無塵車間潔凈室。按照慣例，無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。也就是說所謂無塵并非百分百沒有一點灰塵，而是控制在一個微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微，但是對于光學構造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產生大的負面影響，所以在光學構造產品的生產上，無塵是的要求。