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依據美國聯邦政府頒布的標準【Federal Atandard(FS)209E,1992】,可將無塵室(又名潔凈室,無塵車間)分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級,如果無塵室的等級只用塵粒數目來敘述,則可假設塵粒的尺寸不是0.5um,無塵室等級應以在一特定塵粒尺寸的級數來表示。例如:10級在0.2um(塵粒尺寸在0.2um或更大下,密度不大于75顆/立方英尺),1級在0.1um(塵粒尺寸在0.1um或更大下,密度不大于35顆/立方英尺)。而集成電路制造所需的無塵室之潔凈度優于1000級。
單向流潔凈室的流態從雷諾數判斷是紊流的,所以所謂層流潔凈室的層流和流體力學上的層流是不同的概念。因此,層流潔凈室這個名詞是不貼切的,國外某些標準和文章也指出這一點,例如英國標準BS-5295就曾把所謂層流潔凈室定義為單向流潔凈室,只是照顧慣在括號中注明為層流。前聯邦德國標準VDl- 2083則用“非紊流的置換流”這一術語,并在注中指出,層流這一概念只是為了區別早于層流潔凈室出現的紊(亂)流潔凈室而在當時采用的慣用語,“層流系統”的確切意思并不是分層流動,而是紊流的置換流,用本章提到的概念是紊流的漸變流。在流體力學中,這種流動狀態也可稱平行流或單向流。1977年中國在《空氣潔凈技術措施》中選用了“平行流”這個術語,在該術語后面同時也指出慣上稱“層流”。
管道盡可能沿廠房墻壁安裝,管與管間及管與墻間的距離以能容納活接頭或法蘭,便于檢修為度。一般管路的較突出部分距墻不少于100mm;兩管道的較突出部分間距離,對中壓管道約40~60mm,對高壓管道約70~90mm。由于法蘭易泄漏,故除與設備或閥門采用法蘭連接外,其他應采用對焊連接,但鍍鋅鋼管不允許用焊接,DN≤50mm可用螺紋連接。工業潔凈車間內的管道設計在工業潔凈車間內,系統的主管應布置在技術夾層、技術夾道或技術豎井中。夾層系統中有空氣凈化系統管線,這種系統管線的特點是管徑大,管道多且廣,是工業潔凈車間技術夾層中起主導作用的管道,管道的走向直接受空調機房位置、逆回風方式、系統的劃分等三個因素的影響,而管道的布置是否理想又直接影響技術夾層。
亂流潔凈室也叫非單向流潔凈室,非單向流潔凈室的原理是靠潔凈送風氣流擴散、混合、不斷稀釋室內空氣,把室內污染逐漸排出,達到平衡。簡言之,非單向流潔凈室的原理就是稀釋作用。 特點:亂流潔凈室是靠多次換氣來實現潔凈與潔凈級別。換氣次數決定定義中的凈化級別(換氣次數越多,凈化級別越高)。