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潔凈室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內而所給予特別設計之房間.
濕度處理———包括一次表冷盤管、二次表冷盤管、蒸汽加濕三部分。預熱盤管的作用是對外氣進行預加熱。在外界氣溫較低，接近零度時，為了避免盤管在氣溫低于零度時被凍壞，需對外氣進行加熱，通常是加熱到12℃?？刂扑惋L溫度時，將送風溫度與其設定值進行比較，通過PID控制算法，得出一個計算值，根據該計算值來確定一次表冷盤管與再熱盤管閥門開度的大小，其控制流程如圖4 所示。在整個PID 閉環控制環節中引入分程控制器模型，如圖5 所示，將PID
因此，在確定恒溫室參數(parameter)和選擇自動控制時，考慮工件恒溫恒濕車間、圍護結構、空氣處理設備和自控系統之間的動態特性。防塵車間是指控制產品 (如硅芯片等) 所接觸大氣的潔凈度及溫濕度，使產品能在一個良好的環境空間中生產、制造。此環境空間的設計施工過程即可稱為凈化工程。在電子行業制造車間是重要產生靜電的地方，通常靜電會對產品造成短路甚至會造成員工導電暈倒事故，所以電子行業的無塵車間相對濕度不應低于30%，這樣即可以減少靜電的產生，通常建議無塵車間的防靜電區域相對濕度不低于50%。無塵室優點:構造簡單、系統建造成本低，潔凈室的擴充比較容易，在某些用途場所，可并用無塵工作臺，提高潔凈室等級。過于干燥的空氣中易粉塵飛揚，電子廠無塵車間無要求的情況下，溫度控制在22℃左右，相對濕度控制在55～60%RH之間，在這種環境下，人們感覺舒適，靜電也消失了。
進入無塵車間知道的事情。進入無塵車間要穿干凈的鞋子，不能帶油漬、污泥在里面；室內不準吸煙、飲食；焊接、切割、鉆孔等多塵作業。加以控制，以碎片廣泛擴散。每天工作結束時，應將垃圾搬出房間，倒入指定的地方；建筑材料堆放整齊；禁止在室內小便；違反以上規定者，立即取消無塵車間工作資格。無塵車間不同級別空氣潔凈度的空氣過濾器的選用、布置要點:對于300000級空氣凈化處理，可采用亞過濾器代替過濾器;空氣潔凈度100級、10000級及100000級的空氣凈化處理，應采用初、中、過濾器三級過濾器;中效或空氣過濾器宜按小于或等于額定風量選用;中效空氣過濾器宜集中設置在凈化空氣調節的正壓段;或亞空氣過濾器宜設置在凈化空氣調節系統的末端。