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依據美國聯邦政府頒布的標準【Federal Atandard(FS)209E，1992】，可將無塵室(又名潔凈室,無塵車間)分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級，如果無塵室的等級只用塵粒數目來敘述，則可假設塵粒的尺寸不是0.5um，無塵室等級應以在一特定塵粒尺寸的級數來表示。例如:10級在0.2um(塵粒尺寸在0.2um或更大下，密度不大于75顆/立方英尺)，1級在0.1um(塵粒尺寸在0.1um或更大下，密度不大于35顆/立方英尺)。而集成電路制造所需的無塵室之潔凈度優于1000級。
關于日常的,每天生產結束后,用75%乙醇或2‰新潔爾滅溶液擦拭機臺、桌面、門窗、墻壁等.每3天生產結束后,用75%乙醇或2‰新潔爾滅溶液對潔凈室內設施表面及頂棚、照明等表面進行擦拭, 3%~5%的來蘇兒對地面進行,目的是殺死因生產過程中產生的細菌繁殖體,控制潔凈室內微生物含量.這些措施僅能控制潔凈室內空氣中的細菌量及雜菌種類,如果霉菌較多,就要先用5%石碳酸quan面噴灑室內,然后用甲醛熏蒸才能達到無菌效果,而且只有這樣才能殺死細菌、雜菌芽孢.每個生產周期結束,下個周期生產前對有無菌要求的潔凈室行液,檢測潔凈室內塵埃粒子數符合規定后,再對潔凈室內進行甲醛氣體熏蒸,從長期檢測的結果來看,這種環境滅菌方法效果很好.
期超過兩天以上的要定時清理，對可以不存放在凈化車間的物品和無用物品要及時清理。物品要存放有序，原材料放在原材料緩沖間中，清潔用具放在清潔間中，生產使用的容器與器皿，在未使用時應存放在清洗間中，同時應分類并加以標識?？刂破胀堅趦艋囬g內使用，禁止在凈化車間內使用非凈化用品，如使用時，應放在回風口附近。在凈化車間工作時，若產品須暫存放，應放在貨架上的指定區域，對禁止存放在地面上。沒有潔凈室，就不可能批量生產污染敏感的零件。在FED-STD-2中，潔凈室被定義為具有空氣過濾、分布、優化、結構材料和設備的房間，具體的規則操作程序控制空氣懸浮顆粒的濃度，以達到適當的顆粒清潔度。