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控制算法得出的計算值分為兩部分,0-48%及52(%)-100%,它們分別對應一次表冷盤管及再熱盤管,這樣就避免了冷熱水盤管同時打開而導致能源浪費。同時,在冷熱水切換的交界處48%-52%,設置了死區,即當外氣的溫度與送風溫度設定值相當接近時,熱水閥和冷水閥都處于關閉(閥開度都為0)的狀態,以避免冷熱水在臨界狀態時不停地切換,加速了執行機構的損壞,同時又能減少能源的消耗。為了避免和溫度之間的耦合關系,新風出口濕度的設定值通常不采用相對濕度作為控制值,而是通過和溫度設定值綜合計算后得出其對濕度,以露點溫度或含濕量來表示。本文以露點溫度為例。將計算所得的露點溫度設定值作為整個MAU
依據美國聯邦政府頒布的標準【Federal Atandard(FS)209E,1992】,可將無塵室(又名潔凈室,無塵車間)分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級,如果無塵室的等級只用塵粒數目來敘述,則可假設塵粒的尺寸不是0.5um,無塵室等級應以在一特定塵粒尺寸的級數來表示。例如:10級在0.2um(塵粒尺寸在0.2um或更大下,密度不大于75顆/立方英尺),1級在0.1um(塵粒尺寸在0.1um或更大下,密度不大于35顆/立方英尺)。而集成電路制造所需的無塵室之潔凈度優于1000級。
十萬級無塵車間對溫度、濕度沒有特殊要求時,冬季溫度一般控制在冬季20—22℃;夏季溫度一般控制在24—26℃;允許波動的范圍是±2℃。而冬季潔凈室濕度控制在30—50%,夏季無塵車間濕度控制在50—70%。
每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下,就達到了無塵標準的A級。芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A級,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。0.5uM及以下的微塵數量被嚴格控制在每立方英寸1000個以內,這也就是業內俗稱的1K級別??諔B:已經建造完成并可以投入使用的潔凈室(設施)。它具備有關的服務和功能。但是,在設施內沒有操作人員操作的設備。