南昌玻璃30萬級無塵室20年裝修經驗公司
初,確實認為這種單向平行的氣流應該充滿整個潔凈室,但這在技術上和經濟上都是不利的。隨著認識的發展,人們又指出這種單向流只是“在有限的領域內空氣沿平行流線以等速流動的意思”,并認為能力抑制渦流的發生。通過全空間的清潔空氣的單向流特性占支配的那樣的房間,也稱為單向流潔凈室。這就是說,不要求在整個房間都具有單向平行的流線,均勻的速度,沒有渦流,而是只要求單向平行流特性在這個房間中占支配,例如在整個工作區這一層空間了單向流,這個房間就是單向流潔凈室。前面介紹過的國內外有關標準、措施中關于單向流潔凈室達到的高潔凈度,就是指在工作區內達到的潔凈度。因此,密集布置的流線型散流器頂送和全孔板頂送,也被作為實現垂直單向流的手段使用。
所謂的無塵室是一個人造的環境,里面含有的粒子遠低于一般的環境,隨著集成電路的級數的成長,也增加了對制造環境(無塵室)潔凈度要求,在工業上即使使粒子之尺寸想小于0.1微米.也可能阻礙產品的運作或降低其壽命。優于納米技術的興起,造成半導體關鍵尺寸持續縮小,集成電路積集度不斷地增加,塵粒更容易使芯片失效或度惡化。例如當金屬塵粒落到金屬導線時,就可能會使金屬導線形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導線上,可能將其腐蝕,所以無塵室為集成電路制造的要素。
潔凈車間(潔凈室)是一個企業的核心,是空氣達到一定級別的可供人活動或生產工作的空間,其功能室控制微粒子和微生物的污染。潔凈室的潔凈不是一般的干凈,而是達到了一定空氣潔凈度級別。潔凈車間(潔凈室)按照用途分類分為工業潔凈室和生物潔凈室,按氣流形式分類分為單項流潔凈室、非單項流潔凈室、混合流潔凈室、輻(矢)流潔凈室等。
輻(矢)流凈化車間輻流凈化車間的氣流是以放射型的流線流出,流線之間沒有豎向交叉,可用相對少量的送風獲得較高級別的潔凈度。輻流凈化車間應屬于非單向流,但又有比較接近于單向流的效果,而又遠比單向流在構造上簡單??商峁﹥艋囬g、潔凈廠房的咨詢、規劃、設計、施工、安裝改造等配套服務。輻流凈化車間空態時流線不交叉,流線間橫向擴散比較弱,在下風向上角有弱的反向氣流,污染在室內的滯留時間短于非單向流凈化車間的自凈時間;靜態時,在障礙物的下風側或兩側出現渦流區,因此在輻流凈化車間中應盡可能避免在流線方向上的障礙。輻流潔凈室的氣流分布不如單向流凈化車間的氣流分布均勻,風口和過濾器均比常規風口和過濾器復雜一些,并且在非空態時容易產生渦流區。