泉州潔凈車間設備生產廠
發布時間:
2023-08-06 19:18
泉州潔凈車間設備生產廠
按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微,但是對于光學構造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的負面影響,所以在光學構造產品的生產上,無塵是必然的要求。
目前半導體潔凈室對溫濕度的控制范圍通常為:溫度22±2℃,濕度45±5%RH。本文通過對現有潔凈室溫濕度控制系統的研究,引入模糊控制,以提高溫濕度控制的實際效果。對空氣單純地加熱或制冷(未達到飽和狀態)過程,是含濕量保持不變的過程,即對濕度保持不變的過程。濕空氣經過盤管加熱,溫度升高而相對濕度下降;相反,對冷卻過程,溫度下降而相對濕度相應升高,因此我們可以得出,溫度和相對濕度是兩個不同方向的控制量,要使溫濕度同時向相同的趨勢變化,
設計及參數要點:因其對生產環境的恒溫恒濕溫控制要求很高(溫度控制在22℃±1℃,相對濕度控制在43%±3%);生產大環境的空氣潔凈等級為千級(ISO 6級);光刻等區域的空氣凈化等級十級(ISO 4級);規范要求空氣凈化等級(ISO1-4級)的凈化室采用垂直層流:上技術夾層(送風靜壓箱)中的空氣通過FFU(風機過濾機組)輸送至潔凈生產層,氣流通過高架地板及華夫板孔洞送至潔凈下技術夾層,再經過回風夾道中的DCC(干冷盤管)回到上技術夾層,循環往復。
空氣清潔度可采用光散射粒子計數器來測量。光散射粒子計數器采樣量100級:每次采樣量大于或等于1升。l,000級-l0,000級:每次采樣量大于或等于0.3升。100,000級:每次采樣量大于或等于0.1升。對于100級潔凈室,宜采用大流量粒子計數器進行測試;如果條件不具備時,可采用每次采樣量不小于1升的粒子計數器。根據不同SMT工廠的大小不同,以及產品加工的類型不同,對車間的潔凈度會有不同的要求,有些是10萬級,有些是50萬級。