煙臺潔凈室檢測議生產廠家
發布時間：
2023-08-06 19:13
煙臺潔凈室檢測議生產廠家
潔凈室最主要之作用在于控制產品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造，此空間我們稱之為潔凈室。按照國際慣例，無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。
設計及參數要點:因其對生產環境的恒溫恒濕溫控制要求很高(溫度控制在22℃±1℃，相對濕度控制在43%±3%);生產大環境的空氣潔凈等級為千級(ISO 6級);光刻等區域的空氣凈化等級十級(ISO 4級);規范要求空氣凈化等級(ISO1-4級)的凈化室采用垂直層流:上技術夾層(送風靜壓箱)中的空氣通過FFU(風機過濾機組)輸送至潔凈生產層，氣流通過高架地板及華夫板孔洞送至潔凈下技術夾層，再經過回風夾道中的DCC(干冷盤管)回到上技術夾層，循環往復。
條“if-then”規則，根據這些規則，得出如表1 所示的模糊控制規則表:模糊推理將模糊規則庫中的模糊“if-then”規則轉換成某種映射，即將輸入空間上的模糊集合映射到輸出空間上的模糊集合。根據這些規則進行模糊推理得到一個模糊集,即模糊控制量U, 再通過去模糊化環節,將其轉化為清晰的數字控制量,達到調節MAU 溫度設定的目的。潔凈室相對濕度控制潔凈室相對濕度的控制則由MAU
濕度處理———包括一次表冷盤管、二次表冷盤管、蒸汽加濕三部分。預熱盤管的作用是對外氣進行預加熱。在外界氣溫較低，接近零度時，為了避免盤管在氣溫低于零度時被凍壞，需對外氣進行加熱，通常是加熱到12℃?？刂扑惋L溫度時，將送風溫度與其設定值進行比較，通過PID控制算法，得出一個計算值，根據該計算值來確定一次表冷盤管與再熱盤管閥門開度的大小，其控制流程如圖4 所示。在整個PID 閉環控制環節中引入分程控制器模型，如圖5 所示，將PID