晉中潔凈車間設備生產廠家

　　晉中潔凈車間設備生產廠家

　　進入無塵車間必須了解的事，1.進入無塵車間應穿干凈鞋具，不得帶油漬、污泥入內；2.室內不得吸煙、飲食和飲水；3.焊接、切割、鑿洞等有塵作業必須加以控制，防止碎屑大范圍擴散，每天工作結束時應將垃圾搬出室外倒入規定處；4.施工材料堆放整齊；5.室內嚴禁大小便；6.有違犯以上規定者，應立即取消在無塵車間工作的資格。

　　目前半導體潔凈室對溫濕度的控制范圍通常為:溫度22±2℃，濕度45±5%RH。本文通過對現有潔凈室溫濕度控制系統的研究，引入模糊控制，以提高溫濕度控制的實際效果。溫濕度控制系統實現基本上， 現在潔凈室溫濕度要求為22±2℃，45±5%RH，當然根據生產工藝的需求，對溫濕度的要求也不盡相同。新風空調箱的溫濕度控制新風空調箱基本結構新風空調箱基本結構如圖3 所示，其處理流程如下:空氣過濾———包括初效、中效、三部分;溫度處理———包括預熱盤管、一次表冷盤管、再熱盤管三部分;

　　后進入潔凈室生產區域，從而基本達到無塵室的溫濕度、潔凈度及正壓度的要求。由于整個潔凈室內擺滿了各種生產機器，這些機器都保持持續的運轉，會產生大量的熱量，這些熱量又將通過回風通道內的干盤管DCC進行冷卻而被帶走， 從而達到維持長時間穩定的溫濕度環境。對于潔凈室的溫濕度控制，主要的兩塊是新風空調箱和干盤管。新風空調箱除了要外界大氣經過其中的初、中和過濾網，把空氣中的粉塵顆粒過濾掉外，還要根據潔凈室里面的溫濕度情況調整出風口的溫濕度，以送入的新風在規定的溫濕度范圍內。而干盤管是根據潔凈室里面安裝的溫濕度傳感器測量的值來調整干盤管冷水閥的開度，進而調節回風和送風混合后的溫濕度，以滿足半導體工藝的溫濕度需求。

　　衛生狀態標識:標明生產前、后，生產線、設備、容器等的衛生狀況，有“待清潔”、“已清潔”、“清場合格”標識。待清潔:設備、容器具等未經過清洗處理或超清潔有效期的狀態。已清潔:設備、容器具等經過清洗處理達到潔凈的狀態，內容包括清潔日期、有效期至。清場合格:生產結束后清潔、清場檢查合格，內容包括清場日期、有效期至。用于取樣的樣品傳遞。用于物料進出傳遞。不允許操作者利用傳遞窗進出。