泉州無塵車間裝修生產廠家
發布時間:
2023-08-02 18:44
泉州無塵車間裝修生產廠家
按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微,但是對于光學構造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的負面影響,所以在光學構造產品的生產上,無塵是必然的要求。
目前半導體潔凈室對溫濕度的控制范圍通常為:溫度22±2℃,濕度45±5%RH。本文通過對現有潔凈室溫濕度控制系統的研究,引入模糊控制,以提高溫濕度控制的實際效果。溫濕度控制系統實現基本上, 現在潔凈室溫濕度要求為22±2℃,45±5%RH,當然根據生產工藝的需求,對溫濕度的要求也不盡相同。新風空調箱的溫濕度控制新風空調箱基本結構新風空調箱基本結構如圖3 所示,其處理流程如下:空氣過濾———包括初效、中效、三部分;溫度處理———包括預熱盤管、一次表冷盤管、再熱盤管三部分;
控制算法得出的計算值分為兩部分,0-48%及52(%)-100%,它們分別對應一次表冷盤管及再熱盤管,這樣就避免了冷熱水盤管同時打開而導致能源浪費。同時,在冷熱水切換的交界處48%-52%,設置了死區,即當外氣的溫度與送風溫度設定值相當接近時,熱水閥和冷水閥都處于關閉(閥開度都為0)的狀態,以避免冷熱水在臨界狀態時不停地切換,加速了執行機構的損壞,同時又能減少能源的消耗。為了避免和溫度之間的耦合關系,新風出口濕度的設定值通常不采用相對濕度作為控制值,而是通過和溫度設定值綜合計算后得出其對濕度,以露點溫度或含濕量來表示。本文以露點溫度為例。將計算所得的露點溫度設定值作為整個MAU
為了達到目標溫濕度控制點,其對應的溫濕度控制分區處理過程為:在Zone 1 的范圍內,先降溫去濕,再加熱。在Zone 2的范圍內,先降溫,再加濕。在Zone 3 的范圍內,先加熱,再加濕。在Zone4 的范圍內,先降溫去濕,再加熱。定義:D—控制對象含濕量,T—控制對象溫度。通常情況下, 對于設定值溫度22±2℃,濕度45±5%RH 而言,Zone1 和Zone3的情況比較多,即需要先降溫去濕然后再加熱或者先加熱然后再加濕。