蕪湖注塑凈化車間裝修生產廠
發布時間：
2023-07-31 18:47
蕪湖注塑凈化車間裝修生產廠
半導體 晶圓車間設計布要點 | CEIDI西遞潔凈室主要的作用就在其能控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度，使產品能在一個良好之環境空間中生產。在晶圓車間中，為了解決晶圓測試中良率不佳、測試結果不穩定，探針測試卡的損毀及晶圓的報廢這些問題，潔凈室及輔助室的設計就該是廠區建設的首要任務之一。越是大的從事晶圓生產的企業對整個工廠自動化、智能化程度要求越高，所以對半導體潔凈生產車間的設計師來說，動輒幾百億投資的晶圓廠區做怎樣的合理規劃、系統架設以提高整個潔凈工廠的空間利用率、減少機臺的閑置時間、提升產品的良率是他們設計的重中之重。當然這些內容也是工廠設計定稿前需要與廠家重點探討研究的問題。晶圓車間對生產環境的溫度、濕度、潔凈度、防微振等均有著嚴格的控制要求，且各種配套系統繁多復雜。CEIDI西遞設計師常規也會采用FAB布設計。大多數FBA工廠都是四層結構，從上至下分別為:上技術夾層，潔凈生產層，潔凈下技術夾層和非潔凈下技術夾層。
在精密機械加工和計量等場合，為了因熱膨脹而引起的誤差，使工件保持一定的溫度（temperature)。工件溫度的允許波動幅度應根據加工精度決定。例如，在恒溫室里對一根長500mm的標準尺刻線，工藝允許線間公差為2um，其中lum為尺溫變化所引起的形變誤差，另1um為加工與量測誤差。1um折合尺溫變化量＝0。20C[a為尺線膨脹系數，取10／um／(m?K)；l為尺長，m]，故工件溫度變化需在以內。但由于工件測量儀器等都有一定的熱惰性，空氣溫度的波動傳人工件后，就要衰減。在設計恒溫系統時，一般總是以恒定環境空氣溫度為依據，故相應的環境溫度精度可比工件允許的溫度精度低一些。
無塵室,CLEAN-ROOM.就是一個相對密閉的空間,并控制其中的潔凈度(一個重要指標就是單位體積空氣中的塵埃粒子數),當然有些時候對此環境中的溫濕度,壓差,照度,噪音等參數也是要控制的.所以,更科學完整的叫法應該叫"受控環境controled environment".
后進入潔凈室生產區域，從而基本達到無塵室的溫濕度、潔凈度及正壓度的要求。由于整個潔凈室內擺滿了各種生產機器，這些機器都保持持續的運轉，會產生大量的熱量，這些熱量又將通過回風通道內的干盤管DCC進行冷卻而被帶走， 從而達到維持長時間穩定的溫濕度環境。對于潔凈室的溫濕度控制，主要的兩塊是新風空調箱和干盤管。新風空調箱除了要外界大氣經過其中的初、中和過濾網，把空氣中的粉塵顆粒過濾掉外，還要根據潔凈室里面的溫濕度情況調整出風口的溫濕度，以送入的新風在規定的溫濕度范圍內。而干盤管是根據潔凈室里面安裝的溫濕度傳感器測量的值來調整干盤管冷水閥的開度，進而調節回風和送風混合后的溫濕度，以滿足半導體工藝的溫濕度需求。