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發布時間:
2023-07-29 18:43
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潔凈室最主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造,此空間我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。
每批中間產品的檢驗,需檢測中心化驗員檢驗的,由車間QA檢查員填寫產品請驗單交檢測中心請驗,不需檢測中心化驗員檢驗的,由車間化驗員自行取樣檢驗。車間生產的每批成品,由車間QA檢查員填寫產品請驗單交檢測中心請驗。檢測中心化驗員接到產品請驗單后,到生產車間取樣。工藝用水由操作人員填寫工藝用水請驗單交檢測中心請驗。檢測中心化驗員接到工藝用水請驗單后,到生產車間取樣。在SMT車間中的生產設備都是高精度的機器,對SMT車間環境的無塵等級都會有一定的要求,減少對產品和設備的影響。
在半導體無塵車間的建造過程中,除了廠房的主體結構施工外,還有潔凈建筑裝飾施工、凈化空調系統及其風管、過濾器的施工安裝、高純水系統及其管線的安裝、高純氣體系統(含特種氣體供應等)及其管線安裝、真空系統及其管線的安裝、化學品供應系統及其管線的安裝、各種排風和排氣系統及其處理設備的安裝、消防報警系統及其控制設備的安裝、變配電、電氣系統及其橋架、配管配線的安裝、照明系統及燈具的安裝、防微振裝置的安裝、生產工藝設備及其配管配線的安裝等。還有氣源,包括吹干晶圓及機臺空壓所需要的,都得使用氮氣(98%),吹干晶圓的氮氣甚至要求99.8%以上的高純氮。這些都是設計要注意的地方。
該測試主要是驗布料本身在經過磨擦積累一些電壓后,能否在簡短的時間內達到一個規定的穩定值,這主要是檢驗導電絲的質量。測試方法,在的ESD測試臺(經過接地)上,測試員用手使用一定的力度和速度對布料表面磨擦若干次(通常5-10次),然后用的電壓測試儀的探頭相隔5cm左右對準被摩擦部分,讀取第5秒后的電壓值。測試標準,半導體行業的衣服ESD的要求一般要求小于100V。有些行業有更嚴格的標準,如晶圓、磁頭行業,摩擦電壓一般小于20V。