平涼潔凈車間設備生產廠家
發布時間：
2023-07-28 18:48
平涼潔凈車間設備生產廠家
潔凈室最主要之作用在于控制產品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造，此空間我們稱之為潔凈室。按照國際慣例，無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。
設計及參數要點:因其對生產環境的恒溫恒濕溫控制要求很高(溫度控制在22℃±1℃，相對濕度控制在43%±3%);生產大環境的空氣潔凈等級為千級(ISO 6級);光刻等區域的空氣凈化等級十級(ISO 4級);規范要求空氣凈化等級(ISO1-4級)的凈化室采用垂直層流:上技術夾層(送風靜壓箱)中的空氣通過FFU(風機過濾機組)輸送至潔凈生產層，氣流通過高架地板及華夫板孔洞送至潔凈下技術夾層，再經過回風夾道中的DCC(干冷盤管)回到上技術夾層，循環往復。
后進入潔凈室生產區域，從而基本達到無塵室的溫濕度、潔凈度及正壓度的要求。由于整個潔凈室內擺滿了各種生產機器，這些機器都保持持續的運轉，會產生大量的熱量，這些熱量又將通過回風通道內的干盤管DCC進行冷卻而被帶走， 從而達到維持長時間穩定的溫濕度環境。對于潔凈室的溫濕度控制，主要的兩塊是新風空調箱和干盤管。新風空調箱除了要外界大氣經過其中的初、中和過濾網，把空氣中的粉塵顆粒過濾掉外，還要根據潔凈室里面的溫濕度情況調整出風口的溫濕度，以送入的新風在規定的溫濕度范圍內。而干盤管是根據潔凈室里面安裝的溫濕度傳感器測量的值來調整干盤管冷水閥的開度，進而調節回風和送風混合后的溫濕度，以滿足半導體工藝的溫濕度需求。
粒子計數器設備分落散布在車間各監控點位，由安裝了系統監控軟件的主控電腦控制各采集點的工作狀態；監控軟件可選擇設定測試粒徑、測試時間、采樣間隔、刷新頻率、顯示單位、采樣模式和超限報警等，并可對測試歷史數據按需求進行查詢、統計、分析及繪制曲線圖，并可提供moudbus485通訊協議對接用戶物聯網平臺，供用戶自行開發和應用。半導體器件晶圓的生產過程中，易受外來物、灰塵粒子、金屬離子等外來物的影響而破壞表面結構，這種產品特性也決定了其制造過程中有潔凈度的要求。所以潔凈室至于半導體行業是重要的存在。潔凈室的潔凈度控制不好，會導致空氣中的含塵量過高，從而導致外來物的增加，進而影響到生產、測試的準確度、穩定性。嚴重還會導致探針測試卡的損壞。