福州潔凈車間設備生產廠家
發布時間:
2023-07-27 20:06
福州潔凈車間設備生產廠家
潔凈室最主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造,此空間我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。
半導體 晶圓車間設計布要點 | CEIDI西遞潔凈室主要的作用就在其能控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產。在晶圓車間中,為了解決晶圓測試中良率不佳、測試結果不穩定,探針測試卡的損毀及晶圓的報廢這些問題,潔凈室及輔助室的設計就該是廠區建設的首要任務之一。越是大的從事晶圓生產的企業對整個工廠自動化、智能化程度要求越高,所以對半導體潔凈生產車間的設計師來說,動輒幾百億投資的晶圓廠區做怎樣的合理規劃、系統架設以提高整個潔凈工廠的空間利用率、減少機臺的閑置時間、提升產品的良率是他們設計的重中之重。當然這些內容也是工廠設計定稿前需要與廠家重點探討研究的問題。晶圓車間對生產環境的溫度、濕度、潔凈度、防微振等均有著嚴格的控制要求,且各種配套系統繁多復雜。CEIDI西遞設計師常規也會采用FAB布設計。大多數FBA工廠都是四層結構,從上至下分別為:上技術夾層,潔凈生產層,潔凈下技術夾層和非潔凈下技術夾層。
新風空調箱送風溫度設定值的選取是比較關鍵的,它能夠佳適應當前潔凈室內溫度的需求。如果給定太高的溫度,進入潔凈室和循環風混合后,DCC就需要更大量的冷量進行冷卻,這就直接導致能源的浪費;如果給定太低的溫度,進入潔凈室和循環風混合后,即使DCC的開度為零,整個潔凈室的溫度卻仍然太低,這將使得整個潔凈室的溫度超標。因此,對于MAU新風送風溫度設定值的選取是十分重要的,在確保系統在控制范圍內并盡可能達到的目的。在此,我們引入模糊控制的思想,通過對潔凈室溫度偏差及偏差變化率的模糊規則變換,得出新風空調箱送風溫度設定值SP。整個程序運行的流程如圖7
脫潔凈工作服時,要避免工作服觸及地面、桌子與其它物品,一般要由下脫去工作服,并存放在柜內或掛在規定的處所。退出無塵凈化車間時,在更衣區前不允許脫掉潔凈工作服;脫去工作服后若再進入潔凈室內,仍需按進入無塵凈化車間的規定順序進行。退出潔凈室時,可以不需要經過空氣吹淋而進入更換區域、凈化工程公司。凈化工程中車間內的作業人員管理:手是交叉污染的媒介,作業人員進入無塵凈化車間內均需洗手,不要用手觸及高凈化產品和高凈化包裝材料等;對品生產作業人員還需進行處理。