德陽無塵車間裝修生產廠
發布時間:
2023-07-27 18:38
德陽無塵車間裝修生產廠
潔凈室最主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造,此空間我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。
設計及參數要點:因其對生產環境的恒溫恒濕溫控制要求很高(溫度控制在22℃±1℃,相對濕度控制在43%±3%);生產大環境的空氣潔凈等級為千級(ISO 6級);光刻等區域的空氣凈化等級十級(ISO 4級);規范要求空氣凈化等級(ISO1-4級)的凈化室采用垂直層流:上技術夾層(送風靜壓箱)中的空氣通過FFU(風機過濾機組)輸送至潔凈生產層,氣流通過高架地板及華夫板孔洞送至潔凈下技術夾層,再經過回風夾道中的DCC(干冷盤管)回到上技術夾層,循環往復。
進入一般生產區進入車間的物料,需在脫外包室脫去外包裝,不能脫外包裝的,用吸塵器吸去灰塵或用清潔巾擦干凈,方可進入生產區。進入一般生產區的物料雙方交接核對品名、數量,準確后,雙方在交接記錄上簽字。進般生產區的物料,放到指定的位置,要求按品種、規格、批號分別存放,碼放整齊,并有狀態標識3.進入潔凈區3.1需進入潔凈區的物料,在外清室進行清潔,再用清潔巾浸劑擦拭物料表面后,由外清人員送到傳遞窗內,關緊傳遞窗門,打開紫外燈照射30分鐘。
出風口的溫度控制在22℃,這樣,經過工作層面后溫度將會再上升,在機臺滿載的情況下上升溫度會基本穩定。 溫濕度控制中的常見問題的溫濕度處理過程中,為了解決問題,通常采用濕度優先的方法,冷水閥主要用來,同時也造成溫度的下降,然后通過熱水閥的再熱,使溫濕度均能達到所要求的值。這樣的做法雖然可以滿足設計要求,但在相當多的時候,冷熱水閥使能量相互抵消,造成了能源的浪費。另外,如果進入潔凈室的新風溫度過高,將導致整個潔凈室的熱負荷加大,DCC