涪陵潔凈車間裝修生產廠
發布時間:
2023-07-27 18:22
涪陵潔凈車間裝修生產廠
后進入潔凈室生產區域,從而基本達到無塵室的溫濕度、潔凈度及正壓度的要求。由于整個潔凈室內擺滿了各種生產機器,這些機器都保持持續的運轉,會產生大量的熱量,這些熱量又將通過回風通道內的干盤管DCC進行冷卻而被帶走, 從而達到維持長時間穩定的溫濕度環境。對于潔凈室的溫濕度控制,主要的兩塊是新風空調箱和干盤管。新風空調箱除了要外界大氣經過其中的初、中和過濾網,把空氣中的粉塵顆粒過濾掉外,還要根據潔凈室里面的溫濕度情況調整出風口的溫濕度,以送入的新風在規定的溫濕度范圍內。而干盤管是根據潔凈室里面安裝的溫濕度傳感器測量的值來調整干盤管冷水閥的開度,進而調節回風和送風混合后的溫濕度,以滿足半導體工藝的溫濕度需求。
潔凈室溫濕度處理基本流程及常見問題潔凈室溫濕度處理基本流程前攝像頭:5.0MP 后攝像頭:13.0MP AF半導體潔凈室廠房通常采用新風空調箱(Meup Air Unit,MAU)+風機過濾單元(FanFilter Unit,FFU)+干冷盤管(Dry Cooling Coil,DCC)的設計,即新風空調箱MAU將具有一定潔凈等級和溫濕度的新風送到潔凈室的回風通道中,與循環回風進行混合后進入潔凈室吊頂上方,通過風機過濾單元FFU
傳遞窗兩側的門不得同時打開。在不使用時,兩側的門都關閉后,關閉電源。傳遞窗的清潔由傳遞窗操作人員負責。周轉容器指的是生產過程中用于盛放固體或液體的不銹鋼桶。半成品周轉容器通常要放置一段時間,物料要與容器接觸,所以周轉容器材質應選擇不銹鋼材質。容器應有較好的密封性能,蓋嚴密,不使物料在運輸過程中發生外溢,外漏,并能有效的塵埃和異物的進入。因需要使用的容器密閉性差時,要在外部采取有效的密封措施。
潔凈室是空氣懸浮粒子濃度受控的空間。潔凈室是特殊的房間,該房間內的空氣懸浮粒子濃度、空氣溫度、濕度、壓力等參數均需要控制??諝鈶腋×W邮怯刑囟êx的,它是尺寸范圍在0.1~5μm的固體和液體粒子,它用于空氣潔凈度的分級??諝鈶腋×W?,有的有生命(如細菌、病毒等),有的無生命(如塵粒)。有生命的微粒其實就是細菌等微生物附著在無生命的塵粒上形成的。