蕪湖無塵車間裝修生產廠家
發布時間:
2023-07-24 19:53
蕪湖無塵車間裝修生產廠家
潔凈室最主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造,此空間我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。
潔凈工作服應選產塵量少,又能抗靜電的衣料制作,一般1~10萬級潔凈室內用分裝型,100~1000級的用連體型。潔凈鞋套好使用一次性的,潔凈鞋要求是可洗滌式的。一般地,穿潔凈服的人在行走時,表面散發粒子數比穿普通衣服的人減小40—60倍,故此點對高潔凈度廠房的維護管理十分重要。潔凈工作服要有專人管理,定期檢查,清洗。無塵車間設計一般每周清洗一次,通常清洗50~100次后應檢查確定是否報廢。
在半導體無塵車間的建造過程中,除了廠房的主體結構施工外,還有潔凈建筑裝飾施工、凈化空調系統及其風管、過濾器的施工安裝、高純水系統及其管線的安裝、高純氣體系統(含特種氣體供應等)及其管線安裝、真空系統及其管線的安裝、化學品供應系統及其管線的安裝、各種排風和排氣系統及其處理設備的安裝、消防報警系統及其控制設備的安裝、變配電、電氣系統及其橋架、配管配線的安裝、照明系統及燈具的安裝、防微振裝置的安裝、生產工藝設備及其配管配線的安裝等。還有氣源,包括吹干晶圓及機臺空壓所需要的,都得使用氮氣(98%),吹干晶圓的氮氣甚至要求99.8%以上的高純氮。這些都是設計要注意的地方。
進出無塵凈化車間的管理進入無塵凈化車間的人員應嚴格要求執行人身凈化制度、路線和順序。退出無塵凈化車間時,按如上順序、路線進行,不允許將潔凈用品帶門廳。若有吹淋室,按規定進行吹淋后,方可進入無塵凈化車間內。無塵車間設計同時,嚴格按照風淋室的規格和使用要求,控制每次進入風淋室風淋的人數,不允許正在風淋室強行關閉運行風機或電源。一般經過風淋,人身表面散發的灰塵粒子數減少40—60%。