衢州潔凈車間設備生產廠家
發布時間：
2023-07-21 20:13
衢州潔凈車間設備生產廠家
進入無塵車間必須了解的事，1.進入無塵車間應穿干凈鞋具，不得帶油漬、污泥入內；2.室內不得吸煙、飲食和飲水；3.焊接、切割、鑿洞等有塵作業必須加以控制，防止碎屑大范圍擴散，每天工作結束時應將垃圾搬出室外倒入規定處；4.施工材料堆放整齊；5.室內嚴禁大小便；6.有違犯以上規定者，應立即取消在無塵車間工作的資格。
設計及參數要點:因其對生產環境的恒溫恒濕溫控制要求很高(溫度控制在22℃±1℃，相對濕度控制在43%±3%);生產大環境的空氣潔凈等級為千級(ISO 6級);光刻等區域的空氣凈化等級十級(ISO 4級);規范要求空氣凈化等級(ISO1-4級)的凈化室采用垂直層流:上技術夾層(送風靜壓箱)中的空氣通過FFU(風機過濾機組)輸送至潔凈生產層，氣流通過高架地板及華夫板孔洞送至潔凈下技術夾層，再經過回風夾道中的DCC(干冷盤管)回到上技術夾層，循環往復。
開度增大以抵消新風帶來的熱負荷;如果進入潔凈室的新風的溫度過低，將使得在DCC開度為零時達到環境溫度的要求。根據統計數據，空調系統的能耗占整個半導體廠的能耗的30%-35%，因此對空調設備進行優化控制，選擇合理溫濕度設定值，對提高整個潔凈室溫濕度控制的穩定性及具有重要的意義。隨著半導體生產工藝的不斷發展，更精密、集成度更高是行業發展的趨勢。目前，制造工藝已經進入亞納米時代，對生產設備的精度要求越來越嚴格，因此，除了設備本身的工藝水平需要達到生產要求以外，其所處的生產環境——潔凈室的各項也被嚴格地控制，包括:潔凈度、溫濕度、照度、氣流方向、振動靜電、磁場以及有害氣體等。其中的溫濕度控制是重點，其控制的效果直接影響著生產的優良率。
容器規格應方便運輸，適于儲存條件的溫度變化，容器設計應無，便于清洗。不同潔凈區的容器，**在本區使用，不得跨區交叉使用，如需要，在一般生產區使用的容器進入潔凈區，應外加包裝，待脫外包裝或清潔容器外壁后，再進入潔凈區，潔凈級別高的區域不被污染。為避免混亂，容器按01.02.03`??順序編號。已盛放物料的容器應掛狀態標識，標明內容物的品名、批號、數量、生產日期，標牌應掛在容器外部。