常德注塑凈化車間裝修生產廠
發布時間:
2023-07-20 18:58
常德注塑凈化車間裝修生產廠
潔凈室最主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造,此空間我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。
在半導體無塵車間的建造過程中,除了廠房的主體結構施工外,還有潔凈建筑裝飾施工、凈化空調系統及其風管、過濾器的施工安裝、高純水系統及其管線的安裝、高純氣體系統(含特種氣體供應等)及其管線安裝、真空系統及其管線的安裝、化學品供應系統及其管線的安裝、各種排風和排氣系統及其處理設備的安裝、消防報警系統及其控制設備的安裝、變配電、電氣系統及其橋架、配管配線的安裝、照明系統及燈具的安裝、防微振裝置的安裝、生產工藝設備及其配管配線的安裝等。還有氣源,包括吹干晶圓及機臺空壓所需要的,都得使用氮氣(98%),吹干晶圓的氮氣甚至要求99.8%以上的高純氮。這些都是設計要注意的地方。
目前半導體潔凈室對溫濕度的控制范圍通常為:溫度22±2℃,濕度45±5%RH。本文通過對現有潔凈室溫濕度控制系統的研究,引入模糊控制,以提高溫濕度控制的實際效果。溫濕度控制系統實現基本上, 現在潔凈室溫濕度要求為22±2℃,45±5%RH,當然根據生產工藝的需求,對溫濕度的要求也不盡相同。新風空調箱的溫濕度控制新風空調箱基本結構新風空調箱基本結構如圖3 所示,其處理流程如下:空氣過濾———包括初效、中效、三部分;溫度處理———包括預熱盤管、一次表冷盤管、再熱盤管三部分;
容器規格應方便運輸,適于儲存條件的溫度變化,容器設計應無,便于清洗。不同潔凈區的容器,**在本區使用,不得跨區交叉使用,如需要,在一般生產區使用的容器進入潔凈區,應外加包裝,待脫外包裝或清潔容器外壁后,再進入潔凈區,潔凈級別高的區域不被污染。為避免混亂,容器按01.02.03`??順序編號。已盛放物料的容器應掛狀態標識,標明內容物的品名、批號、數量、生產日期,標牌應掛在容器外部。