嘉峪關潔凈室檢測議生產廠
發布時間：
2023-07-19 20:19
嘉峪關潔凈室檢測議生產廠
目前半導體潔凈室對溫濕度的控制范圍通常為:溫度22±2℃，濕度45±5%RH。本文通過對現有潔凈室溫濕度控制系統的研究，引入模糊控制，以提高溫濕度控制的實際效果。對空氣單純地加熱或制冷(未達到飽和狀態)過程，是含濕量保持不變的過程，即對濕度保持不變的過程。濕空氣經過盤管加熱，溫度升高而相對濕度下降;相反,對冷卻過程，溫度下降而相對濕度相應升高，因此我們可以得出，溫度和相對濕度是兩個不同方向的控制量，要使溫濕度同時向相同的趨勢變化，
出口新風濕度進行調節，將潔凈室相對濕度測量值與相對濕度設定值進行比較，由此計算出所需要MAU出口新風相對濕度，其計算過程與溫度設定值的計算過程類似，然后配合MAU 出口新風溫度設定值，計算出MAU 的出口露點溫度設定值， 由此來控制MAU 出口的濕度。實際應用中，通過在潔凈室溫濕度控制系統中引入模糊控制環節和分程控制環節，發揮模糊控制魯棒性強、動態響應好、上升時間快、超調小的特點,
無塵車間設計要點:滿足生產工藝對建筑設計的要求，實現高性能的制造空間與設施。在對凈化工程 無塵車間進行總圖設計、平面布置、剖面設計時，充分考慮場地的合理利用和滿足工藝生產的要求。在對凈化無塵車間工程的建筑進行設計時，處理好潔凈區域與其相關的輔助區的關系。實現能夠經濟運行的設施，節約能源、易于維護、降低造價。凈化無塵車間建筑設計，確保凈化無塵車間內清潔、易清掃、內外污染，微粒產生、滯留和積存。
潔凈室是空氣懸浮粒子濃度受控的空間。潔凈室是特殊的房間，該房間內的空氣懸浮粒子濃度、空氣溫度、濕度、壓力等參數均需要控制。空氣懸浮粒子是有特定含義的，它是尺寸范圍在0.1～5μm的固體和液體粒子，它用于空氣潔凈度的分級?？諝鈶腋×Ｗ樱械挠猩ㄈ缂毦?、病毒等），有的無生命（如塵粒）。有生命的微粒其實就是細菌等微生物附著在無生命的塵粒上形成的。