巢湖凈化工程設計生產廠

　　巢湖凈化工程設計生產廠

　　進入一般生產區進入車間的物料，需在脫外包室脫去外包裝，不能脫外包裝的，用吸塵器吸去灰塵或用清潔巾擦干凈，方可進入生產區。進入一般生產區的物料雙方交接核對品名、數量，準確后，雙方在交接記錄上簽字。進般生產區的物料，放到指定的位置，要求按品種、規格、批號分別存放，碼放整齊，并有狀態標識3.進入潔凈區3.1需進入潔凈區的物料，在外清室進行清潔，再用清潔巾浸劑擦拭物料表面后，由外清人員送到傳遞窗內，關緊傳遞窗門，打開紫外燈照射30分鐘。

　　為了達到目標溫濕度控制點，其對應的溫濕度控制分區處理過程為:在Zone 1 的范圍內，先降溫去濕，再加熱。在Zone 2的范圍內，先降溫，再加濕。在Zone 3 的范圍內，先加熱，再加濕。在Zone4 的范圍內，先降溫去濕，再加熱。定義:D—控制對象含濕量，T—控制對象溫度。通常情況下， 對于設定值溫度22±2℃，濕度45±5%RH 而言，Zone1 和Zone3的情況比較多，即需要先降溫去濕然后再加熱或者先加熱然后再加濕。

　　建好一個無塵車間,首先要根據實際的生產流程設定相應的功能間,同時考慮人流物流的走向和工作效率.在平面方案初步確定的基礎上,再確定潔凈區與非潔凈區,潔凈區的潔凈等級.然后確定相應的換氣次數或是截面風速.然后布置送回風口,設計潔凈送風機組(大小,位置,風機空調選型等),設計送回新風管道等.當然強弱電給排水也要設計.然后就是按圖施工

　　開度增大以抵消新風帶來的熱負荷;如果進入潔凈室的新風的溫度過低，將使得在DCC開度為零時達到環境溫度的要求。根據統計數據，空調系統的能耗占整個半導體廠的能耗的30%-35%，因此對空調設備進行優化控制，選擇合理溫濕度設定值，對提高整個潔凈室溫濕度控制的穩定性及具有重要的意義。隨著半導體生產工藝的不斷發展，更精密、集成度更高是行業發展的趨勢。目前，制造工藝已經進入亞納米時代，對生產設備的精度要求越來越嚴格，因此，除了設備本身的工藝水平需要達到生產要求以外，其所處的生產環境——潔凈室的各項也被嚴格地控制，包括:潔凈度、溫濕度、照度、氣流方向、振動靜電、磁場以及有害氣體等。其中的溫濕度控制是重點，其控制的效果直接影響著生產的優良率。