宜春無塵車間裝修生產廠
發布時間:
2023-07-18 19:43
宜春無塵車間裝修生產廠
則單純靠加熱/冷卻過程是不能實現的。冷卻去濕過程是濕空氣經冷卻達到飽和后繼續制冷的過程,濕空氣經過冷卻盤管結露析出水滴從而降低了對濕度,起到去濕的作用。因而我們可以將空氣處理過程分為加熱、加濕、降溫及降溫去濕等四個過程。圖1中,橫坐標為含濕量,即每千克空氣所含有的水蒸量;縱坐標為攝氏溫度。根據目標狀態,對濕度線和目標溫度線可以劃分為四個控制區: Zone 1,ZoneZone 3,Zone 4。
半導體 晶圓車間設計布要點 | CEIDI西遞潔凈室主要的作用就在其能控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產。在晶圓車間中,為了解決晶圓測試中良率不佳、測試結果不穩定,探針測試卡的損毀及晶圓的報廢這些問題,潔凈室及輔助室的設計就該是廠區建設的首要任務之一。越是大的從事晶圓生產的企業對整個工廠自動化、智能化程度要求越高,所以對半導體潔凈生產車間的設計師來說,動輒幾百億投資的晶圓廠區做怎樣的合理規劃、系統架設以提高整個潔凈工廠的空間利用率、減少機臺的閑置時間、提升產品的良率是他們設計的重中之重。當然這些內容也是工廠設計定稿前需要與廠家重點探討研究的問題。晶圓車間對生產環境的溫度、濕度、潔凈度、防微振等均有著嚴格的控制要求,且各種配套系統繁多復雜。CEIDI西遞設計師常規也會采用FAB布設計。大多數FBA工廠都是四層結構,從上至下分別為:上技術夾層,潔凈生產層,潔凈下技術夾層和非潔凈下技術夾層。
潔凈區:需要對環境中塵粒與微生物數量進行控制的房間,其建筑結構、裝備及其使用應當能夠減少該區域內污染物的引入、產生和滯留。它的建造和使用應減少空間內入、產生及滯留粒子??臻g內其他有關參數如溫度、濕度、壓力等按要求進行控制。潔凈區可以是開放式或封閉式。我們的GMP車間屬于十萬級潔凈區。溫濕度要求:要以生產工藝要求來檢查,一般無要求時溫度控制在18-26℃,濕度控制在45-65%。75%乙醇溶液:量取95%乙醇79ml,加水至100ml即得。
潔凈室是空氣懸浮粒子濃度受控的空間。潔凈室是特殊的房間,該房間內的空氣懸浮粒子濃度、空氣溫度、濕度、壓力等參數均需要控制??諝鈶腋×W邮怯刑囟êx的,它是尺寸范圍在0.1~5μm的固體和液體粒子,它用于空氣潔凈度的分級??諝鈶腋×W?,有的有生命(如細菌、病毒等),有的無生命(如塵粒)。有生命的微粒其實就是細菌等微生物附著在無生命的塵粒上形成的。