湖州無塵車間裝修生產廠
發布時間:
2023-07-16 19:42
湖州無塵車間裝修生產廠
潔凈室按用途分類可分為工業潔凈室和生物潔凈室;按氣流流型可分為單向流潔凈室、非單向流潔凈室、輻流潔凈室、混合流潔凈室。凈化工程廣泛應生物制藥、醫療器械、醫院制劑室、手術室、無菌室、食品飲料、化妝品、電子、實驗室、電子儀器儀表、計算機房、半導體廠、印刷廠、汽車工業、航天工業、光刻、微機制造等行業。
半導體 晶圓車間設計布要點 | CEIDI西遞潔凈室主要的作用就在其能控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產。在晶圓車間中,為了解決晶圓測試中良率不佳、測試結果不穩定,探針測試卡的損毀及晶圓的報廢這些問題,潔凈室及輔助室的設計就該是廠區建設的首要任務之一。越是大的從事晶圓生產的企業對整個工廠自動化、智能化程度要求越高,所以對半導體潔凈生產車間的設計師來說,動輒幾百億投資的晶圓廠區做怎樣的合理規劃、系統架設以提高整個潔凈工廠的空間利用率、減少機臺的閑置時間、提升產品的良率是他們設計的重中之重。當然這些內容也是工廠設計定稿前需要與廠家重點探討研究的問題。晶圓車間對生產環境的溫度、濕度、潔凈度、防微振等均有著嚴格的控制要求,且各種配套系統繁多復雜。CEIDI西遞設計師常規也會采用FAB布設計。大多數FBA工廠都是四層結構,從上至下分別為:上技術夾層,潔凈生產層,潔凈下技術夾層和非潔凈下技術夾層。
濕度處理———包括一次表冷盤管、二次表冷盤管、蒸汽加濕三部分。預熱盤管的作用是對外氣進行預加熱。在外界氣溫較低,接近零度時,為了避免盤管在氣溫低于零度時被凍壞,需對外氣進行加熱,通常是加熱到12℃??刂扑惋L溫度時,將送風溫度與其設定值進行比較,通過PID控制算法,得出一個計算值,根據該計算值來確定一次表冷盤管與再熱盤管閥門開度的大小,其控制流程如圖4 所示。在整個PID 閉環控制環節中引入分程控制器模型,如圖5 所示,將PID
在半導體無塵車間的建造過程中,除了廠房的主體結構施工外,還有潔凈建筑裝飾施工、凈化空調系統及其風管、過濾器的施工安裝、高純水系統及其管線的安裝、高純氣體系統(含特種氣體供應等)及其管線安裝、真空系統及其管線的安裝、化學品供應系統及其管線的安裝、各種排風和排氣系統及其處理設備的安裝、消防報警系統及其控制設備的安裝、變配電、電氣系統及其橋架、配管配線的安裝、照明系統及燈具的安裝、防微振裝置的安裝、生產工藝設備及其配管配線的安裝等。還有氣源,包括吹干晶圓及機臺空壓所需要的,都得使用氮氣(98%),吹干晶圓的氮氣甚至要求99.8%以上的高純氮。這些都是設計要注意的地方。