金華注塑凈化車間裝修生產廠
發布時間:
2023-07-13 19:57
金華注塑凈化車間裝修生產廠
潔凈室最主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造,此空間我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。
則單純靠加熱/冷卻過程是不能實現的。冷卻去濕過程是濕空氣經冷卻達到飽和后繼續制冷的過程,濕空氣經過冷卻盤管結露析出水滴從而降低了對濕度,起到去濕的作用。因而我們可以將空氣處理過程分為加熱、加濕、降溫及降溫去濕等四個過程。圖1中,橫坐標為含濕量,即每千克空氣所含有的水蒸量;縱坐標為攝氏溫度。根據目標狀態,對濕度線和目標溫度線可以劃分為四個控制區: Zone 1,ZoneZone 3,Zone 4。
測試標準,半導體行業的衣服ESD的要求一般要求小于100V。有些行業有更嚴格的標準,如晶圓、磁頭行業,摩擦電壓一般小于20V。隨著半導體生產工藝的不斷發展,更精密、集成度更高是行業發展的趨勢。目前,制造工藝已經進入亞納米時代,對生產設備的精度要求越來越嚴格,因此,除了設備本身的工藝水平需要達到生產要求以外,其所處的生產環境——潔凈室的各項也被嚴格地控制,包括:潔凈度、溫濕度、照度、氣流方向、振動靜電、磁場以及有害氣體等。其中的溫濕度控制是重點,其控制的效果直接影響著生產的優良率。
控制算法得出的計算值分為兩部分,0-48%及52(%)-100%,它們分別對應一次表冷盤管及再熱盤管,這樣就避免了冷熱水盤管同時打開而導致能源浪費。同時,在冷熱水切換的交界處48%-52%,設置了死區,即當外氣的溫度與送風溫度設定值相當接近時,熱水閥和冷水閥都處于關閉(閥開度都為0)的狀態,以避免冷熱水在臨界狀態時不停地切換,加速了執行機構的損壞,同時又能減少能源的消耗。為了避免和溫度之間的耦合關系,新風出口濕度的設定值通常不采用相對濕度作為控制值,而是通過和溫度設定值綜合計算后得出其對濕度,以露點溫度或含濕量來表示。本文以露點溫度為例。將計算所得的露點溫度設定值作為整個MAU