銀南潔凈室檢測議生產廠家
發布時間：
2023-07-13 18:29
銀南潔凈室檢測議生產廠家
潔凈室溫濕度處理基本流程及常見問題潔凈室溫濕度處理基本流程前攝像頭:5.0MP 后攝像頭:13.0MP AF半導體潔凈室廠房通常采用新風空調箱(Meup Air Unit，MAU)+風機過濾單元(FanFilter Unit，FFU)+干冷盤管(Dry Cooling Coil，DCC)的設計，即新風空調箱MAU將具有一定潔凈等級和溫濕度的新風送到潔凈室的回風通道中，與循環回風進行混合后進入潔凈室吊頂上方，通過風機過濾單元FFU
目前半導體潔凈室對溫濕度的控制范圍通常為:溫度22±2℃，濕度45±5%RH。本文通過對現有潔凈室溫濕度控制系統的研究，引入模糊控制，以提高溫濕度控制的實際效果。對空氣單純地加熱或制冷(未達到飽和狀態)過程，是含濕量保持不變的過程，即對濕度保持不變的過程。濕空氣經過盤管加熱，溫度升高而相對濕度下降;相反,對冷卻過程，溫度下降而相對濕度相應升高，因此我們可以得出，溫度和相對濕度是兩個不同方向的控制量，要使溫濕度同時向相同的趨勢變化，
建好一個無塵車間,首先要根據實際的生產流程設定相應的功能間,同時考慮人流物流的走向和工作效率.在平面方案初步確定的基礎上,再確定潔凈區與非潔凈區,潔凈區的潔凈等級.然后確定相應的換氣次數或是截面風速.然后布置送回風口,設計潔凈送風機組(大小,位置,風機空調選型等),設計送回新風管道等.當然強弱電給排水也要設計.然后就是按圖施工
半導體 晶圓車間設計布要點 | CEIDI西遞潔凈室主要的作用就在其能控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度，使產品能在一個良好之環境空間中生產。在晶圓車間中，為了解決晶圓測試中良率不佳、測試結果不穩定，探針測試卡的損毀及晶圓的報廢這些問題，潔凈室及輔助室的設計就該是廠區建設的首要任務之一。越是大的從事晶圓生產的企業對整個工廠自動化、智能化程度要求越高，所以對半導體潔凈生產車間的設計師來說，動輒幾百億投資的晶圓廠區做怎樣的合理規劃、系統架設以提高整個潔凈工廠的空間利用率、減少機臺的閑置時間、提升產品的良率是他們設計的重中之重。當然這些內容也是工廠設計定稿前需要與廠家重點探討研究的問題。晶圓車間對生產環境的溫度、濕度、潔凈度、防微振等均有著嚴格的控制要求，且各種配套系統繁多復雜。CEIDI西遞設計師常規也會采用FAB布設計。大多數FBA工廠都是四層結構，從上至下分別為:上技術夾層，潔凈生產層，潔凈下技術夾層和非潔凈下技術夾層。