浙江無塵車間裝修生產廠
發布時間：
2023-07-12 19:52
浙江無塵車間裝修生產廠
進入無塵車間必須了解的事，1.進入無塵車間應穿干凈鞋具，不得帶油漬、污泥入內；2.室內不得吸煙、飲食和飲水；3.焊接、切割、鑿洞等有塵作業必須加以控制，防止碎屑大范圍擴散，每天工作結束時應將垃圾搬出室外倒入規定處；4.施工材料堆放整齊；5.室內嚴禁大小便；6.有違犯以上規定者，應立即取消在無塵車間工作的資格。
在半導體無塵車間的建造過程中，除了廠房的主體結構施工外，還有潔凈建筑裝飾施工、凈化空調系統及其風管、過濾器的施工安裝、高純水系統及其管線的安裝、高純氣體系統(含特種氣體供應等)及其管線安裝、真空系統及其管線的安裝、化學品供應系統及其管線的安裝、各種排風和排氣系統及其處理設備的安裝、消防報警系統及其控制設備的安裝、變配電、電氣系統及其橋架、配管配線的安裝、照明系統及燈具的安裝、防微振裝置的安裝、生產工藝設備及其配管配線的安裝等。還有氣源，包括吹干晶圓及機臺空壓所需要的，都得使用氮氣(98%)，吹干晶圓的氮氣甚至要求99.8%以上的高純氮。這些都是設計要注意的地方。
潔凈室滅菌對生物潔凈室，除對送入潔凈室的空氣中的生物或非生物微粒數要受到控制，還要對室內器具、地面、墻面、壁板等表面進行處理。空氣潔凈技術不能殺滅細菌，生物潔凈室運行管理中采取、滅菌措施，減少微生物在潔凈室中的生存、繁衍。目前，傳統滅菌方法為:紫外線滅菌、劑滅菌、加熱滅菌和臭氧滅菌法。它們性都很好，應用為廣泛。另外，整個被滅菌的潔凈室應通過送回風管形成循環狀態，每天開機做空氣滅菌1—1、5小時;若需對潔凈室墻體、地面和設備等表面進行滅菌則需2小時左右。
為了達到目標溫濕度控制點，其對應的溫濕度控制分區處理過程為:在Zone 1 的范圍內，先降溫去濕，再加熱。在Zone 2的范圍內，先降溫，再加濕。在Zone 3 的范圍內，先加熱，再加濕。在Zone4 的范圍內，先降溫去濕，再加熱。定義:D—控制對象含濕量，T—控制對象溫度。通常情況下， 對于設定值溫度22±2℃，濕度45±5%RH 而言，Zone1 和Zone3的情況比較多，即需要先降溫去濕然后再加熱或者先加熱然后再加濕。