淮陰潔凈室檢測議生產廠
發布時間:
2023-07-11 20:24
淮陰潔凈室檢測議生產廠
潔凈室最主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造,此空間我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。
在精密機械加工和計量等場合,為了因熱膨脹而引起的誤差,使工件保持一定的溫度(temperature)。工件溫度的允許波動幅度應根據加工精度決定。例如,在恒溫室里對一根長500mm的標準尺刻線,工藝允許線間公差為2um,其中lum為尺溫變化所引起的形變誤差,另1um為加工與量測誤差。1um折合尺溫變化量=0。20C[a為尺線膨脹系數,取10/um/(m?K);l為尺長,m],故工件溫度變化需在以內。但由于工件測量儀器等都有一定的熱惰性,空氣溫度的波動傳人工件后,就要衰減。在設計恒溫系統時,一般總是以恒定環境空氣溫度為依據,故相應的環境溫度精度可比工件允許的溫度精度低一些。
每一生產操作間、每一盛物容器或包裝均應有能夠指明正在加工的產品或物料、批號及數量等的狀態標識。狀態標識由使用部門統一管理,發放至各崗位,各崗位將狀態標識存放于各自固定位置,使用時要掛在醒目易觀察、不易脫落的位置上,使用后要保持清潔完好。狀態改變時要及時更換狀態標識。生產狀態標識:標明正在生產的情況,有“生產中”標識。生產中:原料提取車間、制劑車間生產時掛于各工序門上,內容包括品名、批號、規格、數量、日期等。
開度增大以抵消新風帶來的熱負荷;如果進入潔凈室的新風的溫度過低,將使得在DCC開度為零時達到環境溫度的要求。根據統計數據,空調系統的能耗占整個半導體廠的能耗的30%-35%,因此對空調設備進行優化控制,選擇合理溫濕度設定值,對提高整個潔凈室溫濕度控制的穩定性及具有重要的意義。隨著半導體生產工藝的不斷發展,更精密、集成度更高是行業發展的趨勢。目前,制造工藝已經進入亞納米時代,對生產設備的精度要求越來越嚴格,因此,除了設備本身的工藝水平需要達到生產要求以外,其所處的生產環境——潔凈室的各項也被嚴格地控制,包括:潔凈度、溫濕度、照度、氣流方向、振動靜電、磁場以及有害氣體等。其中的溫濕度控制是重點,其控制的效果直接影響著生產的優良率。