三門峽潔凈室檢測議生產廠家
發布時間:
2023-07-11 18:47
三門峽潔凈室檢測議生產廠家
潔凈室最主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造,此空間我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。
后進入潔凈室生產區域,從而基本達到無塵室的溫濕度、潔凈度及正壓度的要求。由于整個潔凈室內擺滿了各種生產機器,這些機器都保持持續的運轉,會產生大量的熱量,這些熱量又將通過回風通道內的干盤管DCC進行冷卻而被帶走, 從而達到維持長時間穩定的溫濕度環境。對于潔凈室的溫濕度控制,主要的兩塊是新風空調箱和干盤管。新風空調箱除了要外界大氣經過其中的初、中和過濾網,把空氣中的粉塵顆粒過濾掉外,還要根據潔凈室里面的溫濕度情況調整出風口的溫濕度,以送入的新風在規定的溫濕度范圍內。而干盤管是根據潔凈室里面安裝的溫濕度傳感器測量的值來調整干盤管冷水閥的開度,進而調節回風和送風混合后的溫濕度,以滿足半導體工藝的溫濕度需求。
傳遞窗兩側的門不得同時打開。在不使用時,兩側的門都關閉后,關閉電源。傳遞窗的清潔由傳遞窗操作人員負責。周轉容器指的是生產過程中用于盛放固體或液體的不銹鋼桶。半成品周轉容器通常要放置一段時間,物料要與容器接觸,所以周轉容器材質應選擇不銹鋼材質。容器應有較好的密封性能,蓋嚴密,不使物料在運輸過程中發生外溢,外漏,并能有效的塵埃和異物的進入。因需要使用的容器密閉性差時,要在外部采取有效的密封措施。
測試標準,半導體行業的衣服ESD的要求一般要求小于100V。有些行業有更嚴格的標準,如晶圓、磁頭行業,摩擦電壓一般小于20V。隨著半導體生產工藝的不斷發展,更精密、集成度更高是行業發展的趨勢。目前,制造工藝已經進入亞納米時代,對生產設備的精度要求越來越嚴格,因此,除了設備本身的工藝水平需要達到生產要求以外,其所處的生產環境——潔凈室的各項也被嚴格地控制,包括:潔凈度、溫濕度、照度、氣流方向、振動靜電、磁場以及有害氣體等。其中的溫濕度控制是重點,其控制的效果直接影響著生產的優良率。