浙江潔凈車間裝修生產廠家
發布時間：
2023-04-15 19:17
浙江潔凈車間裝修生產廠家
按照國際慣例，無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵，而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微，但是對于光學構造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的負面影響，所以在光學構造產品的生產上，無塵是必然的要求。
目前半導體潔凈室對溫濕度的控制范圍通常為:溫度22±2℃，濕度45±5%RH。本文通過對現有潔凈室溫濕度控制系統的研究，引入模糊控制，以提高溫濕度控制的實際效果。溫濕度控制系統實現基本上， 現在潔凈室溫濕度要求為22±2℃，45±5%RH，當然根據生產工藝的需求，對溫濕度的要求也不盡相同。新風空調箱的溫濕度控制新風空調箱基本結構新風空調箱基本結構如圖3 所示，其處理流程如下:空氣過濾———包括初效、中效、三部分;溫度處理———包括預熱盤管、一次表冷盤管、再熱盤管三部分;
由于每種工藝制程設備的發熱量大不相同，導致潔凈室內的機臺發熱量分布不均勻。例如爐管機臺的發熱量相較于其他設備大得多(基本在3-5倍之間)，因此在潔凈室內用干盤管DCC帶走這些熱量。通常要求同一制程的氣流經過同一組DCC，在建筑已經確定的情況下，制程的分布要與回風道垂直。如果條件允許，好是將不同制程的區域隔開，這樣既可避免金屬粒子污染，又能提高溫濕度控制的穩定性。通常情況下， 潔凈室的溫濕度控制在22±2℃，45±5%RH，MAU 的送風溫度基本控制在21℃-21.5℃，在與循環風混合后，FFU