東營潔凈車間裝修生產廠

　　東營潔凈車間裝修生產廠

　　在半導體無塵車間的建造過程中，除了廠房的主體結構施工外，還有潔凈建筑裝飾施工、凈化空調系統及其風管、過濾器的施工安裝、高純水系統及其管線的安裝、高純氣體系統(含特種氣體供應等)及其管線安裝、真空系統及其管線的安裝、化學品供應系統及其管線的安裝、各種排風和排氣系統及其處理設備的安裝、消防報警系統及其控制設備的安裝、變配電、電氣系統及其橋架、配管配線的安裝、照明系統及燈具的安裝、防微振裝置的安裝、生產工藝設備及其配管配線的安裝等。還有氣源，包括吹干晶圓及機臺空壓所需要的，都得使用氮氣(98%)，吹干晶圓的氮氣甚至要求99.8%以上的高純氮。這些都是設計要注意的地方。

　　后進入潔凈室生產區域，從而基本達到無塵室的溫濕度、潔凈度及正壓度的要求。由于整個潔凈室內擺滿了各種生產機器，這些機器都保持持續的運轉，會產生大量的熱量，這些熱量又將通過回風通道內的干盤管DCC進行冷卻而被帶走， 從而達到維持長時間穩定的溫濕度環境。對于潔凈室的溫濕度控制，主要的兩塊是新風空調箱和干盤管。新風空調箱除了要外界大氣經過其中的初、中和過濾網，把空氣中的粉塵顆粒過濾掉外，還要根據潔凈室里面的溫濕度情況調整出風口的溫濕度，以送入的新風在規定的溫濕度范圍內。而干盤管是根據潔凈室里面安裝的溫濕度傳感器測量的值來調整干盤管冷水閥的開度，進而調節回風和送風混合后的溫濕度，以滿足半導體工藝的溫濕度需求。

　　核算員按領回物料的品名、規格、數量核對記賬。車間QA檢查員對物料進行驗收，按質量標準進行核對，檢查外包裝情況，確認質量合格后準許使用。包裝工序負責人按包裝指令發放使用，核對領用數量、使用數、損失數、剩余數。生產結束后進行物料平衡計算，如物料平衡超出規定范圍應按偏差進行處理。原輔材料、包裝材料請驗每批原輔材料、包裝材料，由倉庫保管員填寫物料請驗單，交給檢測中心請驗。檢測中心化驗員接到物料請驗單后到倉庫取樣。

　　潔凈室是空氣懸浮粒子濃度受控的空間。潔凈室是特殊的房間，該房間內的空氣懸浮粒子濃度、空氣溫度、濕度、壓力等參數均需要控制。空氣懸浮粒子是有特定含義的，它是尺寸范圍在0.1～5μm的固體和液體粒子，它用于空氣潔凈度的分級?？諝鈶腋×Ｗ?，有的有生命（如細菌、病毒等），有的無生命（如塵粒）。有生命的微粒其實就是細菌等微生物附著在無生命的塵粒上形成的。