揭陽無塵車間裝修生產廠
發布時間:
2023-04-15 18:23
揭陽無塵車間裝修生產廠
潔凈室最主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造,此空間我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。
不允許下列人員進入無塵凈化車間:感冒、咳嗽、濕疹等疾病患者;未按規定洗去化妝品、指甲油和未穿潔凈工作服者;作業人員宜經常洗頭、換衣、剪指甲。作業人員在無塵凈化車間內工作時,動作要輕,嚴格執行操作程序,不作易發塵的大幅度動作,不要拖足行走,不做不必要的動作;不允許穿潔凈工作服上廁所。在無塵凈化車間內,要按要求戴手套,不要露出手腕,手套要經常更換。對進入無塵凈化車間人員要進行相關的培訓教育:掌握所在無塵凈化車間特點、構造、潔凈技術一般知識,人員凈化程序及物料凈化路線要求,潔凈工作服的使用、清洗要求,無塵凈化車間的清掃、清洗和,無塵凈化車間的設施及管理規定。
在半導體無塵車間的建造過程中,除了廠房的主體結構施工外,還有潔凈建筑裝飾施工、凈化空調系統及其風管、過濾器的施工安裝、高純水系統及其管線的安裝、高純氣體系統(含特種氣體供應等)及其管線安裝、真空系統及其管線的安裝、化學品供應系統及其管線的安裝、各種排風和排氣系統及其處理設備的安裝、消防報警系統及其控制設備的安裝、變配電、電氣系統及其橋架、配管配線的安裝、照明系統及燈具的安裝、防微振裝置的安裝、生產工藝設備及其配管配線的安裝等。還有氣源,包括吹干晶圓及機臺空壓所需要的,都得使用氮氣(98%),吹干晶圓的氮氣甚至要求99.8%以上的高純氮。這些都是設計要注意的地方。
無塵車間其選擇地板的材料也是很重要的。低廉的 C/R? 地板覆蓋著一層乙烯基在薄板上,若太硬的地板覆蓋會引起塵埃,而太軟的地板會造成地板彎曲甚致破裂,但并不是 C/R? 的地板,都會覆蓋,乙烯基。至于維修的問題,對材料的選擇是否容易清潔性及維修性都應有其優先級。而無塵車間的墻若以鋁作為材料則將會昂貴,但鋁卻可以保護墻面不被空氣所氧化,可是卻易受酸性氣體的侵蝕,而避免的方法是使用電鍍,便鋁表面增厚,不易氧化,再在鋁表面上再涂上一層亮光漆即可金屬氧化。