三沙潔凈車間設備生產廠

　　三沙潔凈車間設備生產廠

　　包裝指令:生產部根據生產計劃和作業安排，對生產合格的半成品下達批包裝指令。包裝指令單內容包括:生產車間、產品名稱、規格、批量、批號及包裝材料名稱、物料編號、實際用量、計劃包裝日期。清場:要求:設備表面無積塵、無污跡、無水跡、無油垢。工器具無污跡、無前次生產遺留物，擺放整齊。天棚(含送風口)、燈具、墻面(含回風口)、門窗、地面、操作臺及其他附屬設施等無積塵、無污跡、無水跡。清除前次生產剩余原輔料。清除前次生產剩余包裝材料、說明書、標簽等。清除失效狀態標識。清除生產廢棄物。整理好生產記錄。操作室內無前次生產遺留物，室內不得存放與生產無關的雜物。操作室、設備、工器具、清潔工具要按相應的清潔規程進行清潔。

　　開度增大以抵消新風帶來的熱負荷;如果進入潔凈室的新風的溫度過低，將使得在DCC開度為零時達到環境溫度的要求。根據統計數據，空調系統的能耗占整個半導體廠的能耗的30%-35%，因此對空調設備進行優化控制，選擇合理溫濕度設定值，對提高整個潔凈室溫濕度控制的穩定性及具有重要的意義。隨著半導體生產工藝的不斷發展，更精密、集成度更高是行業發展的趨勢。目前，制造工藝已經進入亞納米時代，對生產設備的精度要求越來越嚴格，因此，除了設備本身的工藝水平需要達到生產要求以外，其所處的生產環境——潔凈室的各項也被嚴格地控制，包括:潔凈度、溫濕度、照度、氣流方向、振動靜電、磁場以及有害氣體等。其中的溫濕度控制是重點，其控制的效果直接影響著生產的優良率。

　　所示,程序運行后，將獲得新的SP?；镜哪：刂葡到y如圖8 所示。系統中的模糊控制器是兩輸入一輸出的,其輸入量是系統的偏差E 和偏差變化率EC, 而這兩個量具有確定的數值,是兩個清晰量。整個模糊控制器由四個部分組成:模糊化，模糊規則庫，模糊推理及去模糊化。模糊化的作用是將一個確定的點映射為輸入空間的一個模糊集合。通過模糊化處理,得到模糊的偏差量E以及模糊的偏差變化率EC。其中模糊的偏差量E 語言值集合有七種取值，分別是NB(負大)、NM(負中)、NS(

　　潔凈室是空氣懸浮粒子濃度受控的空間。潔凈室是特殊的房間，該房間內的空氣懸浮粒子濃度、空氣溫度、濕度、壓力等參數均需要控制?？諝鈶腋×Ｗ邮怯刑囟êx的，它是尺寸范圍在0.1～5μm的固體和液體粒子，它用于空氣潔凈度的分級?？諝鈶腋×Ｗ?，有的有生命（如細菌、病毒等），有的無生命（如塵粒）。有生命的微粒其實就是細菌等微生物附著在無生命的塵粒上形成的。