阜新潔凈車間設備生產廠

　　阜新潔凈車間設備生產廠

　　潔凈室最主要之作用在于控制產品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造，此空間我們稱之為潔凈室。按照國際慣例，無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。

　　開度增大以抵消新風帶來的熱負荷;如果進入潔凈室的新風的溫度過低，將使得在DCC開度為零時達到環境溫度的要求。根據統計數據，空調系統的能耗占整個半導體廠的能耗的30%-35%，因此對空調設備進行優化控制，選擇合理溫濕度設定值，對提高整個潔凈室溫濕度控制的穩定性及具有重要的意義。隨著半導體生產工藝的不斷發展，更精密、集成度更高是行業發展的趨勢。目前，制造工藝已經進入亞納米時代，對生產設備的精度要求越來越嚴格，因此，除了設備本身的工藝水平需要達到生產要求以外，其所處的生產環境——潔凈室的各項也被嚴格地控制，包括:潔凈度、溫濕度、照度、氣流方向、振動靜電、磁場以及有害氣體等。其中的溫濕度控制是重點，其控制的效果直接影響著生產的優良率。

　　控制算法得出的計算值分為兩部分，0-48%及52(%)-100%，它們分別對應一次表冷盤管及再熱盤管，這樣就避免了冷熱水盤管同時打開而導致能源浪費。同時，在冷熱水切換的交界處48%-52%，設置了死區，即當外氣的溫度與送風溫度設定值相當接近時，熱水閥和冷水閥都處于關閉(閥開度都為0)的狀態，以避免冷熱水在臨界狀態時不停地切換，加速了執行機構的損壞，同時又能減少能源的消耗。為了避免和溫度之間的耦合關系，新風出口濕度的設定值通常不采用相對濕度作為控制值，而是通過和溫度設定值綜合計算后得出其對濕度，以露點溫度或含濕量來表示。本文以露點溫度為例。將計算所得的露點溫度設定值作為整個MAU

　　潔凈區內的操作人員打開內側門領取物料，進入潔凈區，關閉傳遞窗門。進入潔凈區的各種物料，放置在對室內潔凈氣流不產生影響或影響較小的位置，要求分批號存放，碼放整齊，并有狀態標識。3.4.把物料傳到潔凈區域時，放到傳遞窗內，馬上關緊門，潔凈區操作人員在取走物料，關緊門，切忌傳遞窗不能同時打開。3.5不同車間之間的物料遞交，要傳入潔凈區的物料外包裝要用塑料薄膜袋密封后傳遞。衛生工具室的功能:拖布、清潔巾、清潔桶、毛刷、橡膠手套等衛生工具的清洗、存放及清潔劑和劑的存放。