白城潔凈車間設備生產廠
發布時間：
2023-04-10 19:13
白城潔凈車間設備生產廠
潔凈室最主要之作用在于控制產品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造，此空間我們稱之為潔凈室。按照國際慣例，無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。
目前半導體潔凈室對溫濕度的控制范圍通常為:溫度22±2℃，濕度45±5%RH。本文通過對現有潔凈室溫濕度控制系統的研究，引入模糊控制，以提高溫濕度控制的實際效果。對空氣單純地加熱或制冷(未達到飽和狀態)過程，是含濕量保持不變的過程，即對濕度保持不變的過程。濕空氣經過盤管加熱，溫度升高而相對濕度下降;相反,對冷卻過程，溫度下降而相對濕度相應升高，因此我們可以得出，溫度和相對濕度是兩個不同方向的控制量，要使溫濕度同時向相同的趨勢變化，
條“if-then”規則，根據這些規則，得出如表1 所示的模糊控制規則表:模糊推理將模糊規則庫中的模糊“if-then”規則轉換成某種映射，即將輸入空間上的模糊集合映射到輸出空間上的模糊集合。根據這些規則進行模糊推理得到一個模糊集,即模糊控制量U, 再通過去模糊化環節,將其轉化為清晰的數字控制量,達到調節MAU 溫度設定的目的。潔凈室相對濕度控制潔凈室相對濕度的控制則由MAU
粒子計數器設備分落散布在車間各監控點位，由安裝了系統監控軟件的主控電腦控制各采集點的工作狀態；監控軟件可選擇設定測試粒徑、測試時間、采樣間隔、刷新頻率、顯示單位、采樣模式和超限報警等，并可對測試歷史數據按需求進行查詢、統計、分析及繪制曲線圖，并可提供moudbus485通訊協議對接用戶物聯網平臺，供用戶自行開發和應用。半導體器件晶圓的生產過程中，易受外來物、灰塵粒子、金屬離子等外來物的影響而破壞表面結構，這種產品特性也決定了其制造過程中有潔凈度的要求。所以潔凈室至于半導體行業是重要的存在。潔凈室的潔凈度控制不好，會導致空氣中的含塵量過高，從而導致外來物的增加，進而影響到生產、測試的準確度、穩定性。嚴重還會導致探針測試卡的損壞。