達州凈化工程設計生產廠

　　達州凈化工程設計生產廠

　　后進入潔凈室生產區域，從而基本達到無塵室的溫濕度、潔凈度及正壓度的要求。由于整個潔凈室內擺滿了各種生產機器，這些機器都保持持續的運轉，會產生大量的熱量，這些熱量又將通過回風通道內的干盤管DCC進行冷卻而被帶走， 從而達到維持長時間穩定的溫濕度環境。對于潔凈室的溫濕度控制，主要的兩塊是新風空調箱和干盤管。新風空調箱除了要外界大氣經過其中的初、中和過濾網，把空氣中的粉塵顆粒過濾掉外，還要根據潔凈室里面的溫濕度情況調整出風口的溫濕度，以送入的新風在規定的溫濕度范圍內。而干盤管是根據潔凈室里面安裝的溫濕度傳感器測量的值來調整干盤管冷水閥的開度，進而調節回風和送風混合后的溫濕度，以滿足半導體工藝的溫濕度需求。

　　新風空調箱送風溫度設定值的選取是比較關鍵的，它能夠佳適應當前潔凈室內溫度的需求。如果給定太高的溫度，進入潔凈室和循環風混合后，DCC就需要更大量的冷量進行冷卻，這就直接導致能源的浪費;如果給定太低的溫度，進入潔凈室和循環風混合后，即使DCC的開度為零，整個潔凈室的溫度卻仍然太低，這將使得整個潔凈室的溫度超標。因此，對于MAU新風送風溫度設定值的選取是十分重要的，在確保系統在控制范圍內并盡可能達到的目的。在此，我們引入模糊控制的思想，通過對潔凈室溫度偏差及偏差變化率的模糊規則變換，得出新風空調箱送風溫度設定值SP。整個程序運行的流程如圖7

　　0.2%新潔爾滅溶液:量取3%新潔爾滅溶液6.7ml，加水至100ml即得。 1%來蘇爾溶液:量取3%來蘇爾500ml，加水至1500ml，即得。如用量大時，按上述配制比例進行配制。單月用75%乙醇溶液，雙月用0.2%新潔爾滅溶液，二者交替使用。十萬級潔凈區使用的劑用純化水配制。飲用水(自來水)生產指令:生產部根據生產計劃和作業安排下達生產指令單。生產指令單內容包括:產品名稱、生產車間、規格、批量、批號及原輔料名稱、物料編號、實際用量、半成品批號、計劃投產日期。

　　潔凈室是空氣懸浮粒子濃度受控的空間。潔凈室是特殊的房間，該房間內的空氣懸浮粒子濃度、空氣溫度、濕度、壓力等參數均需要控制?？諝鈶腋×Ｗ邮怯刑囟êx的，它是尺寸范圍在0.1～5μm的固體和液體粒子，它用于空氣潔凈度的分級?？諝鈶腋×Ｗ?，有的有生命（如細菌、病毒等），有的無生命（如塵粒）。有生命的微粒其實就是細菌等微生物附著在無生命的塵粒上形成的。