鄭州潔凈室檢測議生產廠家
發布時間:
2023-04-09 20:02
鄭州潔凈室檢測議生產廠家
按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微,但是對于光學構造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的負面影響,所以在光學構造產品的生產上,無塵是必然的要求。
參數時通常將積分時間設置為零,以系統過調節而產生振蕩。潔凈室溫度主要由DCC 來調節, 但同時受新風送風溫濕度的影響,如果給定太高的溫度,進入潔凈室和循環風混合后,DCC就需要更大量的冷量進行冷卻,這就直接導致能源的浪費;如果給定太低的溫度, 進入潔凈室和循環風混合后, 即使DCC的開度為零,整個潔凈室的溫度卻仍然太低,這將使得整個潔凈室的溫度超標。新風空調箱溫濕度設定值控制
開度增大以抵消新風帶來的熱負荷;如果進入潔凈室的新風的溫度過低,將使得在DCC開度為零時達到環境溫度的要求。根據統計數據,空調系統的能耗占整個半導體廠的能耗的30%-35%,因此對空調設備進行優化控制,選擇合理溫濕度設定值,對提高整個潔凈室溫濕度控制的穩定性及具有重要的意義。隨著半導體生產工藝的不斷發展,更精密、集成度更高是行業發展的趨勢。目前,制造工藝已經進入亞納米時代,對生產設備的精度要求越來越嚴格,因此,除了設備本身的工藝水平需要達到生產要求以外,其所處的生產環境——潔凈室的各項也被嚴格地控制,包括:潔凈度、溫濕度、照度、氣流方向、振動靜電、磁場以及有害氣體等。其中的溫濕度控制是重點,其控制的效果直接影響著生產的優良率。
在半導體無塵車間的建造過程中,除了廠房的主體結構施工外,還有潔凈建筑裝飾施工、凈化空調系統及其風管、過濾器的施工安裝、高純水系統及其管線的安裝、高純氣體系統(含特種氣體供應等)及其管線安裝、真空系統及其管線的安裝、化學品供應系統及其管線的安裝、各種排風和排氣系統及其處理設備的安裝、消防報警系統及其控制設備的安裝、變配電、電氣系統及其橋架、配管配線的安裝、照明系統及燈具的安裝、防微振裝置的安裝、生產工藝設備及其配管配線的安裝等。還有氣源,包括吹干晶圓及機臺空壓所需要的,都得使用氮氣(98%),吹干晶圓的氮氣甚至要求99.8%以上的高純氮。這些都是設計要注意的地方。