陜西凈化工程設計生產廠家
發布時間：
2023-04-08 20:03
陜西凈化工程設計生產廠家
潔凈室最主要之作用在于控制產品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造，此空間我們稱之為潔凈室。按照國際慣例，無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。
設計及參數要點:因其對生產環境的恒溫恒濕溫控制要求很高(溫度控制在22℃±1℃，相對濕度控制在43%±3%);生產大環境的空氣潔凈等級為千級(ISO 6級);光刻等區域的空氣凈化等級十級(ISO 4級);規范要求空氣凈化等級(ISO1-4級)的凈化室采用垂直層流:上技術夾層(送風靜壓箱)中的空氣通過FFU(風機過濾機組)輸送至潔凈生產層，氣流通過高架地板及華夫板孔洞送至潔凈下技術夾層，再經過回風夾道中的DCC(干冷盤管)回到上技術夾層，循環往復。
參數時通常將積分時間設置為零，以系統過調節而產生振蕩。潔凈室溫度主要由DCC 來調節， 但同時受新風送風溫濕度的影響，如果給定太高的溫度，進入潔凈室和循環風混合后，DCC就需要更大量的冷量進行冷卻，這就直接導致能源的浪費;如果給定太低的溫度， 進入潔凈室和循環風混合后， 即使DCC的開度為零，整個潔凈室的溫度卻仍然太低，這將使得整個潔凈室的溫度超標。新風空調箱溫濕度設定值控制
空容器的存放應劃分區域，以避免使用的錯誤。使用中應檢查容器的完好情況，如發現裂隙、破口等應及時更換。應制定容器的清潔規程，用后及時清洗，并清洗效果。容器使用一段時間正常損壞時，車間及時給予更換;屬非正常損壞時，需說明原因，由車間做出相應的處理。物料進入生產區:車間領料員憑領料單領取物料，領料員領取的物料應有檢驗合格的報告書。生產區內不能存放多余的物料或與生產無關的物料，進出生產區的物料應控制在限度。為了工藝衛生污染，進出生產區的各種物料從物流通道進出，要進行清潔。