哈爾濱潔凈車間設備生產廠
發布時間:
2023-04-08 18:53
哈爾濱潔凈車間設備生產廠
進入無塵車間必須了解的事,1.進入無塵車間應穿干凈鞋具,不得帶油漬、污泥入內;2.室內不得吸煙、飲食和飲水;3.焊接、切割、鑿洞等有塵作業必須加以控制,防止碎屑大范圍擴散,每天工作結束時應將垃圾搬出室外倒入規定處;4.施工材料堆放整齊;5.室內嚴禁大小便;6.有違犯以上規定者,應立即取消在無塵車間工作的資格。
因此,在確定恒溫室參數(parameter)和選擇自動控制時,考慮工件恒溫恒濕車間、圍護結構、空氣處理設備和自控系統之間的動態特性。防塵車間是指控制產品 (如硅芯片等) 所接觸大氣的潔凈度及溫濕度,使產品能在一個良好的環境空間中生產、制造。此環境空間的設計施工過程即可稱為凈化工程。
在電子行業制造車間是重要產生靜電的地方,通常靜電會對產品造成短路甚至會造成員工導電暈倒事故,所以電子行業的無塵車間相對濕度不應低于30%,這樣即可以減少靜電的產生,通常建議無塵車間的防靜電區域相對濕度不低于50%。無塵室優點:構造簡單、系統建造成本低,潔凈室的擴充比較容易,在某些用途場所,可并用無塵工作臺,提高潔凈室等級。過于干燥的空氣中易粉塵飛揚,電子廠無塵車間無要求的情況下,溫度控制在22℃左右,相對濕度控制在55~60%RH之間,在這種環境下,人們感覺舒適,靜電也消失了。
后進入潔凈室生產區域,從而基本達到無塵室的溫濕度、潔凈度及正壓度的要求。由于整個潔凈室內擺滿了各種生產機器,這些機器都保持持續的運轉,會產生大量的熱量,這些熱量又將通過回風通道內的干盤管DCC進行冷卻而被帶走, 從而達到維持長時間穩定的溫濕度環境。對于潔凈室的溫濕度控制,主要的兩塊是新風空調箱和干盤管。新風空調箱除了要外界大氣經過其中的初、中和過濾網,把空氣中的粉塵顆粒過濾掉外,還要根據潔凈室里面的溫濕度情況調整出風口的溫濕度,以送入的新風在規定的溫濕度范圍內。而干盤管是根據潔凈室里面安裝的溫濕度傳感器測量的值來調整干盤管冷水閥的開度,進而調節回風和送風混合后的溫濕度,以滿足半導體工藝的溫濕度需求。
為了達到目標溫濕度控制點,其對應的溫濕度控制分區處理過程為:在Zone 1 的范圍內,先降溫去濕,再加熱。在Zone 2的范圍內,先降溫,再加濕。在Zone 3 的范圍內,先加熱,再加濕。在Zone4 的范圍內,先降溫去濕,再加熱。定義:D—控制對象含濕量,T—控制對象溫度。通常情況下, 對于設定值溫度22±2℃,濕度45±5%RH 而言,Zone1 和Zone3的情況比較多,即需要先降溫去濕然后再加熱或者先加熱然后再加濕。