無錫潔凈室檢測議生產廠家
發布時間:
2023-04-05 19:43
無錫潔凈室檢測議生產廠家
潔凈室最主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造,此空間我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。
為了達到目標溫濕度控制點,其對應的溫濕度控制分區處理過程為:在Zone 1 的范圍內,先降溫去濕,再加熱。在Zone 2的范圍內,先降溫,再加濕。在Zone 3 的范圍內,先加熱,再加濕。在Zone4 的范圍內,先降溫去濕,再加熱。定義:D—控制對象含濕量,T—控制對象溫度。通常情況下, 對于設定值溫度22±2℃,濕度45±5%RH 而言,Zone1 和Zone3的情況比較多,即需要先降溫去濕然后再加熱或者先加熱然后再加濕。
為不干擾室內的潔凈氣流型式,在作業區上流側不應放置物品,回風口附近不要堆放物;送風孔板下不應堵塞和堆放物品,生產操作應在潔凈工作臺或氣流的上游進行。不允許將與生產無關的和容易產塵的物品帶入潔凈室內。嚴禁在無塵凈化車間內吸煙、飲食和進行非生產性活動。進入無塵凈化車間前,個人物品須放入指定的柜子,去掉化妝和首飾,換上指定的潔凈服、鞋。戴帽時,應將頭發遮住,鞋套應將褲腳下擺緊緊裹在鞋套。
半導體 晶圓車間設計布要點 | CEIDI西遞潔凈室主要的作用就在其能控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產。在晶圓車間中,為了解決晶圓測試中良率不佳、測試結果不穩定,探針測試卡的損毀及晶圓的報廢這些問題,潔凈室及輔助室的設計就該是廠區建設的首要任務之一。越是大的從事晶圓生產的企業對整個工廠自動化、智能化程度要求越高,所以對半導體潔凈生產車間的設計師來說,動輒幾百億投資的晶圓廠區做怎樣的合理規劃、系統架設以提高整個潔凈工廠的空間利用率、減少機臺的閑置時間、提升產品的良率是他們設計的重中之重。當然這些內容也是工廠設計定稿前需要與廠家重點探討研究的問題。晶圓車間對生產環境的溫度、濕度、潔凈度、防微振等均有著嚴格的控制要求,且各種配套系統繁多復雜。CEIDI西遞設計師常規也會采用FAB布設計。大多數FBA工廠都是四層結構,從上至下分別為:上技術夾層,潔凈生產層,潔凈下技術夾層和非潔凈下技術夾層。