陽江潔凈車間設備生產廠
發布時間:
2023-04-04 18:49
陽江潔凈車間設備生產廠
潔凈室最主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造,此空間我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。
活動:動作時的發塵量一般達到靜止時間3-7倍;清洗:用溶劑洗滌的發塵量降至用一般水清洗的五分之一。室內維護結構表面發塵量,以地面為準,大約相應8平方米地面時的表面發塵量與一個靜止的人的發塵量相當。工作人員產生的污染:皮膚:人類通常每四天完成一次皮膚的脫換,人類每分鐘脫落約1000片皮膚(平均大小為30*60*3微米)頭發:人類的頭發(直徑約為50~100微米)一直在脫落。
參數時通常將積分時間設置為零,以系統過調節而產生振蕩。潔凈室溫度主要由DCC 來調節, 但同時受新風送風溫濕度的影響,如果給定太高的溫度,進入潔凈室和循環風混合后,DCC就需要更大量的冷量進行冷卻,這就直接導致能源的浪費;如果給定太低的溫度, 進入潔凈室和循環風混合后, 即使DCC的開度為零,整個潔凈室的溫度卻仍然太低,這將使得整個潔凈室的溫度超標。新風空調箱溫濕度設定值控制
設計及參數要點:因其對生產環境的恒溫恒濕溫控制要求很高(溫度控制在22℃±1℃,相對濕度控制在43%±3%);生產大環境的空氣潔凈等級為千級(ISO 6級);光刻等區域的空氣凈化等級十級(ISO 4級);規范要求空氣凈化等級(ISO1-4級)的凈化室采用垂直層流:上技術夾層(送風靜壓箱)中的空氣通過FFU(風機過濾機組)輸送至潔凈生產層,氣流通過高架地板及華夫板孔洞送至潔凈下技術夾層,再經過回風夾道中的DCC(干冷盤管)回到上技術夾層,循環往復。