周口無塵車間裝修生產廠

　　周口無塵車間裝修生產廠

　　潔凈室溫濕度處理基本流程及常見問題潔凈室溫濕度處理基本流程前攝像頭:5.0MP 后攝像頭:13.0MP AF半導體潔凈室廠房通常采用新風空調箱(Meup Air Unit，MAU)+風機過濾單元(FanFilter Unit，FFU)+干冷盤管(Dry Cooling Coil，DCC)的設計，即新風空調箱MAU將具有一定潔凈等級和溫濕度的新風送到潔凈室的回風通道中，與循環回風進行混合后進入潔凈室吊頂上方，通過風機過濾單元FFU

　　出口濕度的設定值。根據送風露點溫度并與露點溫度設定值進行比較，通過PID控制算法，得出一個計算值，根據該計算值來確定表冷閥和加濕閥開度的大小，其控制流程與溫度控制類似，同時也引入了分程控制，避免臨界狀態下加濕與之間不斷切換而導致的濕度控制的波動。潔凈室溫濕度控制潔凈室溫度控制潔凈室內的溫度PID 控制流程如圖6 所示，采用的是基本的PID 控制， 由于潔凈室本身的大空間而造成的大慣性、大時滯性，在設置PID

　　無塵室,CLEAN-ROOM.就是一個相對密閉的空間,并控制其中的潔凈度(一個重要指標就是單位體積空氣中的塵埃粒子數),當然有些時候對此環境中的溫濕度,壓差,照度,噪音等參數也是要控制的.所以,更科學完整的叫法應該叫"受控環境controled environment".

　　粒子計數器設備分落散布在車間各監控點位，由安裝了系統監控軟件的主控電腦控制各采集點的工作狀態；監控軟件可選擇設定測試粒徑、測試時間、采樣間隔、刷新頻率、顯示單位、采樣模式和超限報警等，并可對測試歷史數據按需求進行查詢、統計、分析及繪制曲線圖，并可提供moudbus485通訊協議對接用戶物聯網平臺，供用戶自行開發和應用。半導體器件晶圓的生產過程中，易受外來物、灰塵粒子、金屬離子等外來物的影響而破壞表面結構，這種產品特性也決定了其制造過程中有潔凈度的要求。所以潔凈室至于半導體行業是重要的存在。潔凈室的潔凈度控制不好，會導致空氣中的含塵量過高，從而導致外來物的增加，進而影響到生產、測試的準確度、穩定性。嚴重還會導致探針測試卡的損壞。