江門潔凈室檢測議生產廠

　　江門潔凈室檢測議生產廠

　　進入無塵車間必須了解的事，1.進入無塵車間應穿干凈鞋具，不得帶油漬、污泥入內；2.室內不得吸煙、飲食和飲水；3.焊接、切割、鑿洞等有塵作業必須加以控制，防止碎屑大范圍擴散，每天工作結束時應將垃圾搬出室外倒入規定處；4.施工材料堆放整齊；5.室內嚴禁大小便；6.有違犯以上規定者，應立即取消在無塵車間工作的資格。

　　在半導體無塵車間的建造過程中，除了廠房的主體結構施工外，還有潔凈建筑裝飾施工、凈化空調系統及其風管、過濾器的施工安裝、高純水系統及其管線的安裝、高純氣體系統(含特種氣體供應等)及其管線安裝、真空系統及其管線的安裝、化學品供應系統及其管線的安裝、各種排風和排氣系統及其處理設備的安裝、消防報警系統及其控制設備的安裝、變配電、電氣系統及其橋架、配管配線的安裝、照明系統及燈具的安裝、防微振裝置的安裝、生產工藝設備及其配管配線的安裝等。還有氣源，包括吹干晶圓及機臺空壓所需要的，都得使用氮氣(98%)，吹干晶圓的氮氣甚至要求99.8%以上的高純氮。這些都是設計要注意的地方。

　　因此，在確定恒溫室參數(parameter)和選擇自動控制時，考慮工件恒溫恒濕車間、圍護結構、空氣處理設備和自控系統之間的動態特性。防塵車間是指控制產品 (如硅芯片等) 所接觸大氣的潔凈度及溫濕度，使產品能在一個良好的環境空間中生產、制造。此環境空間的設計施工過程即可稱為凈化工程。

　　在電子行業制造車間是重要產生靜電的地方，通常靜電會對產品造成短路甚至會造成員工導電暈倒事故，所以電子行業的無塵車間相對濕度不應低于30%，這樣即可以減少靜電的產生，通常建議無塵車間的防靜電區域相對濕度不低于50%。無塵室優點:構造簡單、系統建造成本低，潔凈室的擴充比較容易，在某些用途場所，可并用無塵工作臺，提高潔凈室等級。過于干燥的空氣中易粉塵飛揚，電子廠無塵車間無要求的情況下，溫度控制在22℃左右，相對濕度控制在55～60%RH之間，在這種環境下，人們感覺舒適，靜電也消失了。

　　新風空調箱送風溫度設定值的選取是比較關鍵的，它能夠佳適應當前潔凈室內溫度的需求。如果給定太高的溫度，進入潔凈室和循環風混合后，DCC就需要更大量的冷量進行冷卻，這就直接導致能源的浪費;如果給定太低的溫度，進入潔凈室和循環風混合后，即使DCC的開度為零，整個潔凈室的溫度卻仍然太低，這將使得整個潔凈室的溫度超標。因此，對于MAU新風送風溫度設定值的選取是十分重要的，在確保系統在控制范圍內并盡可能達到的目的。在此，我們引入模糊控制的思想，通過對潔凈室溫度偏差及偏差變化率的模糊規則變換，得出新風空調箱送風溫度設定值SP。整個程序運行的流程如圖7