唐山潔凈車間設備生產廠
發布時間：
2023-04-01 19:14
唐山潔凈車間設備生產廠
測試標準，半導體行業的衣服ESD的要求一般要求小于100V。有些行業有更嚴格的標準，如晶圓、磁頭行業，摩擦電壓一般小于20V。隨著半導體生產工藝的不斷發展，更精密、集成度更高是行業發展的趨勢。目前，制造工藝已經進入亞納米時代，對生產設備的精度要求越來越嚴格，因此，除了設備本身的工藝水平需要達到生產要求以外，其所處的生產環境——潔凈室的各項也被嚴格地控制，包括:潔凈度、溫濕度、照度、氣流方向、振動靜電、磁場以及有害氣體等。其中的溫濕度控制是重點，其控制的效果直接影響著生產的優良率。
潔凈服測試主要包括以下方面的測試ESD性能是評估工衣質量好壞的重要。一般ESD測試有四部分:磨擦電壓測試、靜電壓測試、電阻測試、衰減時間測試。該測試主要是驗布料本身在經過磨擦積累一些電壓后，能否在簡短的時間內達到一個規定的穩定值，這主要是檢驗導電絲的質量。測試方法，在的ESD測試臺(經過接地)上，測試員用手使用一定的力度和速度對布料表面磨擦若干次(通常5-10次)，然后用的電壓測試儀的探頭相隔5cm左右對準被摩擦部分，讀取第5秒后的電壓值。
無塵室,CLEAN-ROOM.就是一個相對密閉的空間,并控制其中的潔凈度(一個重要指標就是單位體積空氣中的塵埃粒子數),當然有些時候對此環境中的溫濕度,壓差,照度,噪音等參數也是要控制的.所以,更科學完整的叫法應該叫"受控環境controled environment".
在半導體無塵車間的建造過程中，除了廠房的主體結構施工外，還有潔凈建筑裝飾施工、凈化空調系統及其風管、過濾器的施工安裝、高純水系統及其管線的安裝、高純氣體系統(含特種氣體供應等)及其管線安裝、真空系統及其管線的安裝、化學品供應系統及其管線的安裝、各種排風和排氣系統及其處理設備的安裝、消防報警系統及其控制設備的安裝、變配電、電氣系統及其橋架、配管配線的安裝、照明系統及燈具的安裝、防微振裝置的安裝、生產工藝設備及其配管配線的安裝等。還有氣源，包括吹干晶圓及機臺空壓所需要的，都得使用氮氣(98%)，吹干晶圓的氮氣甚至要求99.8%以上的高純氮。這些都是設計要注意的地方。