廣西潔凈車間裝修生產廠家
發布時間:
2023-04-01 18:19
廣西潔凈車間裝修生產廠家
潔凈室滅菌對生物潔凈室,除對送入潔凈室的空氣中的生物或非生物微粒數要受到控制,還要對室內器具、地面、墻面、壁板等表面進行處理??諝鉂崈艏夹g不能殺滅細菌,生物潔凈室運行管理中采取、滅菌措施,減少微生物在潔凈室中的生存、繁衍。目前,傳統滅菌方法為:紫外線滅菌、劑滅菌、加熱滅菌和臭氧滅菌法。它們性都很好,應用為廣泛。另外,整個被滅菌的潔凈室應通過送回風管形成循環狀態,每天開機做空氣滅菌1—1、5小時;若需對潔凈室墻體、地面和設備等表面進行滅菌則需2小時左右。
由于每種工藝制程設備的發熱量大不相同,導致潔凈室內的機臺發熱量分布不均勻。例如爐管機臺的發熱量相較于其他設備大得多(基本在3-5倍之間),因此在潔凈室內用干盤管DCC帶走這些熱量。通常要求同一制程的氣流經過同一組DCC,在建筑已經確定的情況下,制程的分布要與回風道垂直。如果條件允許,好是將不同制程的區域隔開,這樣既可避免金屬粒子污染,又能提高溫濕度控制的穩定性。通常情況下, 潔凈室的溫濕度控制在22±2℃,45±5%RH,MAU 的送風溫度基本控制在21℃-21.5℃,在與循環風混合后,FFU
無塵室,CLEAN-ROOM.就是一個相對密閉的空間,并控制其中的潔凈度(一個重要指標就是單位體積空氣中的塵埃粒子數),當然有些時候對此環境中的溫濕度,壓差,照度,噪音等參數也是要控制的.所以,更科學完整的叫法應該叫"受控環境controled environment".
后進入潔凈室生產區域,從而基本達到無塵室的溫濕度、潔凈度及正壓度的要求。由于整個潔凈室內擺滿了各種生產機器,這些機器都保持持續的運轉,會產生大量的熱量,這些熱量又將通過回風通道內的干盤管DCC進行冷卻而被帶走, 從而達到維持長時間穩定的溫濕度環境。對于潔凈室的溫濕度控制,主要的兩塊是新風空調箱和干盤管。新風空調箱除了要外界大氣經過其中的初、中和過濾網,把空氣中的粉塵顆粒過濾掉外,還要根據潔凈室里面的溫濕度情況調整出風口的溫濕度,以送入的新風在規定的溫濕度范圍內。而干盤管是根據潔凈室里面安裝的溫濕度傳感器測量的值來調整干盤管冷水閥的開度,進而調節回風和送風混合后的溫濕度,以滿足半導體工藝的溫濕度需求。